照明光学系およびこれを用いた光学装置ならびにその光学装置を用いたデバイス製造方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：若林忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-318246
公開番号（公開出願番号）：特開平7-230057
出願日： 1994年12月21日
公開日（公表日）： 1995年08月29日
要約：

【要約】【目的】エネルギー損失の少ない照明光学系を提供する。【構成】放射ビームを複数個の照明ビームに分割するプリズムユニット2と、その複数個の照明ビームの各々をプリズムユニット2による分割方向に関してフォーカスするシリンドリカルレンズ4と、シリンドリカルレンズ4からの複数個の照明ビームの夫々をマスク6上に、プリズムユニット2による分割方向と直交する方向に関してフォーカスし且つその分割方向に関してデフォーカスする凸レンズ5とを備える。マスク6上には、複数個の照明ビームの夫々が重ねられ、線状の照明領域が形成される。

請求項（抜粋）：

放射ビームを複数個の照明ビームに分割する手段と、前記複数個の照明ビームを被照明面上で互いに重ねる光学系とを有し、前記光学系は実質的に直交する第1、第2の方向に関して互いに異なる焦点距離を有し、前記複数個のビームの夫々を、前記被照明面上に、前記第1の方向に関してフォーカスし且つ前記第2の方向に関してデフォーカスすることにより、前記被照明面上に線状の照明領域を形成することを特徴とする照明光学系。

IPC (3件)：

G02B 27/00 , B23K 26/06 , G02B 27/10

引用特許：

審査官引用 (6件)

特開平2-259448
特開平2-259448
投影露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-326158 出願人：三菱電機株式会社

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