ミラーユニットおよび該ミラーユニットを備えた露光装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：若林忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-319725
公開番号（公開出願番号）：特開平7-174896
出願日： 1993年12月20日
公開日（公表日）： 1995年07月14日
要約：

【要約】【構成】【目的】ミラーの冷却効率が良く、ミラーの交換が容易で、しかもメンテナンス性に優れた小型なミラーユニットを提供する。【構成】チャンバー6の開口6aに、反射面1a側をチャンバー6の内部になるようにミラー1が設置される。断面凸形状のミラー1の凸の肩部分に、枠2が固着されている。枠2は、中央にミラー1の凸部が通ることが可能な開口を有する板形状をしており、ミラー1との固着面との反対面には、ガスケット3を押えるためのエッジが環状に形成されている。チャンバー6には、枠2のエッジの対向位置に該エッジと同様のエッジが環状に形成され、チャンバー6と枠2の両方に形成されたエッジによって、ガスケット3を挟み込む。ミラー1をチャンバー6に固定するため、及びガスケット3を真空封止に十分なだけ押えるために、ミラー固定部材4をチャンバー6に締結する。

請求項（抜粋）：

真空チャンバー内に、ミラーの反射面が設置されるミラーユニットにおいて、ミラーもしくはミラーを保持するミラー保持部材が、ミラーの反射面を真空チャンバー内に向けて、真空チャンバーに設けられた開口に取り付けられていることにより、ミラーもしくはミラー保持部材が真空チャンバーの真空隔壁の一部を形成し、また、真空チャンバーと、ミラーもしくはミラー保持部材との間が真空シール構造となっていることを特徴とするミラーユニット。

IPC (6件)：

G21K 1/06 , G02B 5/08 , G03F 7/20 503 , G03F 7/20 521 , G21K 5/02 , H01L 21/027

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開平4-194800
X線ミラー支持装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-289283 出願人：キヤノン株式会社
特開平1-245123

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