特許
J-GLOBAL ID：200903025590666562
ターボ分子ポンプ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
渡邉 勇 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-352293
公開番号（公開出願番号）：特開平10-169594
出願日： 1996年12月12日
公開日（公表日）： 1998年06月23日
要約：
【要約】【課題】 ステータの所定箇所において、状況に応じて必要となる温度制御を効率的に行うことができるターボ分子ポンプを提供する。【解決手段】 ポンプケーシング64内に、ロータR側の回転翼30とステータS側の固定翼32が交互に配置された翼排気部L1と、該翼排気部の下流の前記ステータ側またはロータ側の少なくとも一方にねじ溝34aを有するねじ溝排気部L2とが設けられ、前記ポンプケーシングは、前記翼排気部の周囲を覆う吸気口側ポンプケーシング60と、前記ねじ溝排気部の周囲を覆う排気口側ポンプケーシング62とを接続して構成されている。
請求項（抜粋）：
ポンプケーシング内に、ロータ側の回転翼とステータ側の固定翼が交互に配置された翼排気部と、該翼排気部の下流の前記ステータ側またはロータ側の少なくとも一方にねじ溝を有するねじ溝排気部とが設けられ、前記ポンプケーシングは、前記翼排気部の周囲を覆う吸気口側ポンプケーシングと、前記ねじ溝排気部の周囲を覆う排気口側ポンプケーシングとを接続して構成されていることを特徴とするターボ分子ポンプ。
FI (2件)：
F04D 19/04 G
, F04D 19/04 H
