マイクロポンプ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山口巖
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-095757
公開番号（公開出願番号）：特開平9-287571
出願日： 1996年04月18日
公開日（公表日）： 1997年11月04日
要約：

【要約】【課題】被搬送流体の種類が限定されることなく、各種流体の搬送が円滑に行えるようにした新しい動作原理に基づくマイクロポンプを提供する。【解決手段】基板1と、該基板上に重ね合わせて基板との間に流体通路2aを形成するガイド体2と、流体通路に沿って基板側に設けた移動磁界発生手段としてのアレイ磁気コイル素子5と、流体通路面を覆ってその周縁を基板に封着した弾性膜3と、弾性膜と基板との間に封入した磁性流体4とからなり、アレイ磁気コイル素子の通電切換えにより生成した移動磁界に沿って磁性流体を集合状態で移動させ、その磁性流体の移動に伴う弾性膜の蠕動運動により被搬送流体8を押し出し搬送する。

請求項（抜粋）：

基板と、該基板上に重ね合わせて基板との間に流体通路を形成するガイド体と、流体通路に沿って基板側に設けた移動磁界発生手段と、流体通路面を覆ってその周縁を基板に封着した弾性膜と、弾性膜と基板との間に封入した磁性流体とからなり、前記移動磁界発生手段により生成した移動磁界に沿って磁性流体を集合状態で移動させ、その磁性流体の移動に伴う弾性膜の蠕動運動で被搬送流体を搬送するようにしたことを特徴とするマイクロポンプ。

IPC (2件)：

F04B 43/04 , F04B 43/12

FI (2件)：

F04B 43/04 A , F04B 43/12

引用特許：

審査官引用 (4件)

マイクロポンプの流体送りヘッド
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-287191 出願人：アイシン精機株式会社, 株式会社新産業開発
マイクロポンプ
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-106260 出願人：沖電気工業株式会社
特開平4-086388

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