特許
J-GLOBAL ID：200903025656475631

回折格子の位置合わせ方法及び回折格子の位置合わせ装置

発明者：
小林 史敏

小林 史敏 について

, 
新毛 勝秀

新毛 勝秀 について


出願人/特許権者：
日本板硝子株式会社

日本板硝子株式会社 について


代理人 (2件)： 恩田 博宣 ,  恩田 誠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-195078
公開番号（公開出願番号）：特開2004-037863
出願日： 2002年07月03日
公開日（公表日）： 2004年02月05日
要約：
【課題】回折格子の構成を工夫することなく簡単に回折格子の位置合わせを行うことができる回折格子の位置合わせ方法及び回折格子の位置合わせ装置を提供する。【解決手段】回折格子11は、θ軸駆動モータにより正逆回転される回転台23に吸着固定される。回折格子11の上方にはレーザ光源31とスクリーン32が設けられている。そして、回折格子11にレーザ光源31から単波長のスポットレーザ光が照射されると、スポット回折光SPが発生する。これらのスポット回折光SPは、スクリーン32に投影され、同スクリーン32の上には複数のスポット回折光SPによる回折光パターンが形成される。このとき、回折光パターンは回折格子11の溝方向と垂直な直線をなす。そして、回転台23を回転させて回折光パターンとX軸を指標する基準線33とを互いに平行にすることにより、回折格子11の溝方向はY軸方向と平行となる【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
回折格子の溝方向を定められた方向に合わせる回折格子の位置合わせ方法において、 前記回折格子から発せられる回折光パターンを検知手段にて検知して、その回折光パターンのなす直線の方向が前記定められた方向に合うように前記回折格子を偏倚させることを特徴とする回折格子の位置合わせ方法。
IPC (1件)：
G02B5/18
FI (1件)：
G02B5/18
Fターム (5件)：
2H049AA06 ,  2H049AA31 ,  2H049AA59 ,  2H049AA68 ,  2H049AA69
引用特許：
審査官引用 (4件)
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