特許
J-GLOBAL ID：200903025671483578

基板移送装置

発明者：
崎谷 文雄

崎谷 文雄 について


出願人/特許権者：
ローツェ株式会社

ローツェ株式会社 について


代理人 (1件)： 中西 次郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-271615
公開番号（公開出願番号）：特開2001-093958
出願日： 1999年09月27日
公開日（公表日）： 2001年04月06日
要約：
【要約】【課題】 SMIFポッド開閉及びウエハ移送の一連の工程において、基板を常にパーティクルフリーなクリーン状態に維持することが可能な基板移送装置を提供することを目的とする。【解決手段】 ポッド開閉装置と、基板移送ロボットとが、開口部を有する仕切板で分割して設置され、基板移送時はロボット上部から吹出されるクリーンエアにより基板は高クリーン度に保たれる。ポッド開閉装置は、昇降可能なステージプレート(ポッドドア支持台)と、その周辺に配設された昇降可能な矩形状ポートプレート(ポッドケース支持台)とからなり、ポートプレートには基板周辺のクリーンエア流れを制御するポートカバ及び整流板と、待機時に開口部を塞ぐシャッタとが配設されている。更に、ステージプレートを下に移動さて、ポッドドアとステージプレートの間隙を窒素ガス等でパージする手段が配設されている。
請求項（抜粋）：
開口部を有する仕切板により、ポッドドア及びポッドケースからなるポッドの開閉操作を行うポッド開閉装置が設置された第1室と、ポッド内に載置されたカセットと処理室の間で基板の移送を行う基板移送ロボットが設けられ、下方に向かってクリーンエアを吹き出すファンフィルタユニットが上部に設けられた第2室と、に分割され、前記ポッド開閉装置は、第1の昇降手段を有し、中心部に開口が形成され、前記ポッドケースを受けるポートプレートと、第2の昇降手段を有し、前記開口内に設けられ、前記ポッドドアを受けるステージプレートと、前記ポッドドア及びポッドケース間の結合及び解除をする手段と、を有し、前記ポートプレートには、前記開口部を塞ぐシャッタと、前記結合を解除した状態で前記第1の昇降手段によりポートプレートを上昇させる際に、前記開口部を通して前記第2室から流れ込むクリーンエアの流れを制御するポートカバー及び整流板と、が配設され、前記結合した状態で、前記第2の昇降手段により前記ステージプレートを下方に移動させることにより形成される前記ポッドドアと前記ステージプレートとの間隙をクリーンガスでパージする手段を設けたことを特徴とする基板移送装置。
IPC (2件)：
H01L 21/68 ,  B65G 49/07
FI (2件)：
H01L 21/68 A ,  B65G 49/07 L
Fターム (21件)：
5F031CA02 ,  5F031DA01 ,  5F031DA09 ,  5F031EA14 ,  5F031FA01 ,  5F031GA35 ,  5F031GA41 ,  5F031GA43 ,  5F031GA47 ,  5F031GA49 ,  5F031JA05 ,  5F031JA14 ,  5F031JA23 ,  5F031JA25 ,  5F031NA03 ,  5F031NA04 ,  5F031NA05 ,  5F031NA09 ,  5F031NA10 ,  5F031PA18 ,  5F031PA20
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (3件)

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