特許

J-GLOBAL ID：200903025693312149

微小突起を有するプローブ、及びその製造方法

発明者： 島田 康弘 ,  八木 隆行 ,  黒田 亮
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 長尾 達也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-218505
公開番号（公開出願番号）：特開2000-035396
出願日： 1998年07月16日
公開日（公表日）： 2000年02月02日
要約：

【要約】【課題】本発明は、S/N比の向上により優れた光検出の分解能を発揮することができ、あるいは優れた温度検出の分解能を発揮することができ、また、再現性良く均一な形状で、且つ先端を鋭利に形成することができ、生産性の向上と製造コストの低減を図ることが可能な微小突起を有するプローブ、及びその製造方法を提供することを目的としている。【解決手段】本発明は、内部に空隙を有する少なくとも一つ以上の微小突起を、基板上または弾性体上に形成された電気的に独立した2つの接合層にまたがって接合してなるプローブまたはその製造方法であって、該微小突起は接合界面を有する少なくとも互いに異なる2層の材料層からなり、該2層のそれぞれの材料層が電気的に独立するように前記2つの接合層のいずれかに接続して構成されていることを特徴とするものである。

請求項（抜粋）：

内部に空隙を有する少なくとも一つ以上の微小突起を、基板上または弾性体上に形成された電気的に独立した2つの接合層にまたがって接合してなるプローブであって、該微小突起は接合界面を有する少なくとも互いに異なる2層の材料層からなり、該2層のそれぞれの材料層が電気的に独立するように前記2つの接合層のいずれかに接続されていることを特徴とするプローブ。

IPC (3件)：

G01N 13/14 ,  G01B 7/34 ,  G01B 21/30

FI (3件)：

G01N 37/00 E ,  G01B 7/34 Z ,  G01B 21/30 Z

Fターム (36件)：

2F063AA43 ,  2F063BA29 ,  2F063CA08 ,  2F063CA09 ,  2F063CA40 ,  2F063EA16 ,  2F063EB01 ,  2F063EB05 ,  2F063EB07 ,  2F063EB15 ,  2F063EB21 ,  2F063EB23 ,  2F063EB27 ,  2F063EC02 ,  2F063EC26 ,  2F063JA04 ,  2F063JA09 ,  2F063JA10 ,  2F069AA60 ,  2F069BB40 ,  2F069DD19 ,  2F069DD26 ,  2F069GG04 ,  2F069GG06 ,  2F069GG07 ,  2F069GG16 ,  2F069GG62 ,  2F069GG66 ,  2F069HH02 ,  2F069HH04 ,  2F069HH30 ,  2F069JJ07 ,  2F069JJ14 ,  2F069LL03 ,  2F069LL04 ,  2F069RR03

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 集積型SPMセンサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-244864   出願人：オリンパス光学工業株式会社
• 微小熱電対付きカンチレバー
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-006487   出願人：株式会社ニコン
• トンネル電流または微小力または磁気力検出用の微小ティップの製造方法、及びその製造用雌型基板、並びにその微小ティップを有するプローブの製造方法とそのプローブ、該プローブを有するプローブユニットと走査型プローブ顕微鏡及び情報記録再生装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-241346   出願人：キヤノン株式会社
• 磁気抵抗素子の製造方法と磁気抵抗素子、その磁気抵抗素子を用いたプローブの製造方法とプローブ、およびそのプローブを用いた磁気顕微鏡
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-193884   出願人：キヤノン株式会社