検査装置及びそれを用いた検査方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：池内寛幸 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-014062
公開番号（公開出願番号）：特開2000-216205
出願日： 1999年01月22日
公開日（公表日）： 2000年08月04日
要約：

【要約】【課題】大電流を流すプローブ検査において、プローブ針の酸化を防止できる低コストな検査装置及び検査方法を提供する。【解決手段】被検査物3の外部接続用電極4にプローブ針5を接触させて電気的特性を検査する際に、プローブ針5の先端部と外部接続用電極4との接触部分に、非酸化性雰囲気に保つための不活性ガスをノズル8を用いて外部接続用電極4の形成面に対して垂直方向から供給する。

請求項（抜粋）：

被測定物を載置し固定するためのステージと、前記被検査物の外部接続用電極に接触させて電気的導通を得るためのプローブ針を備えたプローブカードと、検査時に前記プローブ針の先端部と前記被測定物の外部接続用電極との接触部分の雰囲気を非酸化性雰囲気に保つための不活性ガスを、前記接触部分に、前記外部接続用電極の形成面に対して垂直方向から供給する不活性ガス供給手段とを備えたことを特徴とする検査装置。

IPC (3件)：

H01L 21/66 , G01R 1/06 , G01R 31/28

FI (3件)：

H01L 21/66 B , G01R 1/06 E , G01R 31/28 K

Fターム (15件)：

2G011AA17 , 2G011AC14 , 2G011AC21 , 2G011AE03 , 2G032AA00 , 2G032AF02 , 2G032AL03 , 4M106AA01 , 4M106AA02 , 4M106BA01 , 4M106BA14 , 4M106DD10 , 4M106DD18 , 4M106DD22 , 4M106DJ01

引用特許：

審査官引用 (6件)

電気的特性測定用装置および電気的特性測定方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-334319 出願人：宮崎沖電気株式会社, 沖電気工業株式会社
特開平3-257841
特開平3-292748

全件表示

前のページに戻る