特許

J-GLOBAL ID：200903025757448147

カーボン膜の成膜方法

発明者： 柏谷 誠 ,  中田 純司
出願人/特許権者： 富士写真フイルム株式会社
代理人 (1件)： 渡辺 望稔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-083913
公開番号（公開出願番号）：特開2000-272156
出願日： 1999年03月26日
公開日（公表日）： 2000年10月03日
要約：

【要約】【課題】気相成膜法によってカーボン膜を成膜するに際し、ピンホールやクラックの極めて少ない、高品位なカーボン膜を得ることができるカーボン膜の成膜方法を提供する。【解決手段】カーボン膜の成膜系内の0.5μmパーティクル量を1000個立方フィート/min以下とした後に、成膜プロセスを開始することにより、前記課題を解決する。

請求項（抜粋）：

気相成膜によってカーボン膜を成膜するに際し、成膜系内の0.5μmパーティクル量を1000個立方フィート/min以下とした後に、成膜プロセスを開始することを特徴とするカーボン膜の成膜方法。

IPC (2件)：

B41J 2/335 ,  H01L 21/314

FI (3件)：

B41J 3/20 111 F ,  H01L 21/314 A ,  B41J 3/20 111 H

Fターム (15件)：

2C065JF01 ,  2C065JF04 ,  2C065JF05 ,  2C065JF16 ,  2C065JH08 ,  2C065JH11 ,  5F058BA04 ,  5F058BB06 ,  5F058BD01 ,  5F058BD10 ,  5F058BD18 ,  5F058BF07 ,  5F058BF12 ,  5F058BF26 ,  5F058BJ10

引用特許：

審査官引用 (3件)

• サーマルヘッドおよびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-111738   出願人：富士写真フイルム株式会社
• プラズマ処理方法及びプラズマ処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-078099   出願人：富士通株式会社
• チャンバー内の堆積物のモニター方法,プラズマ加工方法,ドライクリーニング方法及び半導体製造装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-116077   出願人：松下電器産業株式会社