特許
J-GLOBAL ID：200903025775083571
設計主導型検査または測定
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
飯塚 義仁
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-556921
公開番号（公開出願番号）：特表2005-514774
出願日： 2002年12月19日
公開日（公表日）： 2005年05月19日
要約：
設計主導型の検査/測定方法および装置が提供される。レシピ(155)は、検査/測定システム(150)に対して、ウエーハを検査/測定する方法を指示するためのウエーハ処理パラメータ、検査パラメータまたは制御パラメータを含む命令のセットである。設計データはレシピ抽出システム(510)に取り込まれ、該レシピ抽出システムは、ターゲット構造のインスタンスを認識し、これに応じてレシピパラメータを構成し、これにより、マニュアルでの機器セットアップ時間を減少させ、検査/測定の精度を向上させ、製造効率を向上させる。
請求項（抜粋）：
レシピパラメータに応答する機器のためにレシピを作成する方法であって、
マスクセットデータにアクセスするステップと、
前記マスクセットデータにおけるターゲット構造を認識するステップと、
前記認識されたターゲット構造に応じて前記レシピパラメータを設定するステップと、
を具備した方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (8件)：
4M106AA01
, 4M106AA02
, 4M106BA01
, 4M106CA01
, 4M106CA38
, 4M106CA50
, 4M106DJ20
, 4M106DJ28
