特許
J-GLOBAL ID：200903025780688872

真空蒸着装置

発明者：
窪田 隆弘

窪田 隆弘 について

, 
藤田 浩

藤田 浩 について

, 
大嶋 司

大嶋 司 について

, 
伊関 清司

伊関 清司 について

, 
鈴木 慎司

鈴木 慎司 について


出願人/特許権者：
東洋紡績株式会社

東洋紡績株式会社 について


代理人 (1件)： 鈴木 崇生 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-303276
公開番号（公開出願番号）：特開2001-123270
出願日： 1999年10月26日
公開日（公表日）： 2001年05月08日
要約：
【要約】【課題】 走行中のフィルム表面に単一元素または異なる元素からなり、所定の組成比および目標厚みを有する単相膜または混合膜を、連続的かつ均一に形成できる真空蒸着装置を提供する。【解決手段】 複数のモニタ手段7で測定されたデータを基にフィルム17の幅方向での蒸着成分毎の厚み分布又は蒸着された膜の総厚み分布と組成比の分布を推定可能な蒸発量分布推定手段14と、予め設定された坩堝9中の蒸着材料16の蒸発量分布基準値と推定蒸発量分布との偏差量および予め設定された坩堝9中の蒸着材料16の投入エネルギー量と蒸発速度との関係式に基づいて、蒸着材料16の投入エネルギー量を算出し、これらの総和から電子銃4の加熱条件を決定する第1制御量演算手段14と、算出された投入エネルギー量の蒸着材料毎の比率に基づいて坩堝9中の蒸着材料毎の加熱・蒸発条件を決定可能な第2制御量演算手段14と、第1、第2制御量制御量演算手段14により得られたデータに基づいて電子銃4の加熱条件を制御する電子銃制御手段15と、を備える。
請求項（抜粋）：
真空槽内を走行するフィルム状被蒸着物の幅方向に蒸着可能に配置され蒸着材料を保持した材料保持手段と、前記蒸着材料を加熱・蒸発させて前記被蒸着物に蒸着する加熱手段と、蒸着された無機酸化物層の成分毎の厚み又は総厚みと組成比を測定可能な複数のモニタ手段とを備える真空蒸着装置において、前記複数のモニタ手段で測定されたデータを基に前記被蒸着物の幅方向での蒸着成分毎の厚み分布又は蒸着された膜の総厚み分布と組成比の分布を推定可能な蒸発量分布推定手段と、予め設定された前記材料保持手段中の蒸着材料の蒸発量分布基準値と前記推定蒸発量分布との偏差量、および予め設定された前記材料保持手段中の蒸着材料の投入エネルギー量と蒸発速度との関係式に基づいて、前記蒸着材料の投入エネルギー量を算出し、これらの総和から前記加熱手段の加熱条件を決定する第1制御量演算手段と、前記算出された投入エネルギー量の蒸着材料毎の比率に基づいて前記材料保持手段中の蒸着材料毎の加熱・蒸発条件を決定可能な第2制御量演算手段と、前記第1、第2制御量制御量演算手段により得られたデータに基づいて前記加熱手段の加熱条件を制御する加熱手段制御手段と、を備えることを特徴とする真空蒸着装置。
IPC (6件)：
C23C 14/54 ,  C23C 14/56 ,  H01L 21/31 ,  C08J 7/06 ,  H01G 4/015 ,  H01G 4/18
FI (5件)：
C23C 14/54 C ,  C23C 14/56 A ,  H01L 21/31 D ,  C08J 7/06 Z ,  H01G 4/24 331 B
Fターム (33件)：
4F006AA35 ,  4F006AB74 ,  4F006BA05 ,  4F006CA07 ,  4F006DA01 ,  4K029AA11 ,  4K029AA25 ,  4K029BA44 ,  4K029BA46 ,  4K029CA01 ,  4K029DB11 ,  4K029DB21 ,  4K029EA01 ,  5E082BC40 ,  5E082EE07 ,  5E082EE23 ,  5E082EE37 ,  5E082FF15 ,  5E082FG22 ,  5E082FG27 ,  5E082FG35 ,  5E082FG36 ,  5E082FG37 ,  5E082FG38 ,  5E082FG42 ,  5E082MM23 ,  5E082MM24 ,  5F045AA18 ,  5F045AB31 ,  5F045AB32 ,  5F045DP22 ,  5F045GB09 ,  5F045GB16
引用特許：
審査官引用 (5件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM