特許

J-GLOBAL ID：200903025781521106

磁気ヘッドスライダー

発明者： 古市 眞治 ,  森 幸男
出願人/特許権者： 日立金属株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-213110
公開番号（公開出願番号）：特開2001-043650
出願日： 1999年07月28日
公開日（公表日）： 2001年02月16日
要約：

【要約】【課題】 磁気ヘッドスライダーの空気潤滑面に付加された、外気遮断膜とDLC薄膜からなる積層膜の膜厚を薄くする。【解決手段】 磁気ヘッドスライダーの空気潤滑面に、第4族元素を含む緻密で連続した状態の1〜2nm厚の外気遮断膜と、製膜過程にて連続状態の膜構造に至る前に製膜を中断して、不連続状の島状構造膜にした0.5〜2nm厚の島状DLC薄膜からなる積層膜とする。

請求項（抜粋）：

記録素子と再生素子を備えた磁気ヘッドスライダーにおいて、前記磁気ヘッドスライダーの空気潤滑面は、主に第4族元素を含む一層もしくは二層以上で構成される外気遮断膜で被覆し、前記外気遮断膜全面には、連続膜に成る前に製膜操作を止めることにより形成した多数の島状DLC薄膜が分散して覆っていることを特徴とする磁気ヘッドスライダー。

IPC (3件)：

G11B 21/21 101 ,  C01B 31/02 101 ,  C23C 16/27

FI (3件)：

G11B 21/21 101 K ,  C01B 31/02 101 Z ,  C23C 16/27

Fターム (11件)：

4G046CA02 ,  4G046CB03 ,  4G046CC06 ,  4G046GA01 ,  4G046GB02 ,  4K030AA10 ,  4K030BA28 ,  4K030BB05 ,  4K030BB14 ,  4K030FA01 ,  4K030LA23

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 磁気ヘッド
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-048775   出願人：日本電気株式会社
• 磁気ヘッドスライダとその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-042609   出願人：茨城日本電気株式会社
• 特開平1-273219