特許
J-GLOBAL ID：200903025937232428
回転型位置決め装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
光石 俊郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-326447
公開番号（公開出願番号）：特開2000-042867
出願日： 1998年11月17日
公開日（公表日）： 2000年02月15日
要約：
【要約】【課題】 位置決め対象物の位置決め精度を向上させる。【解決手段】 回転装置21の回転部22にベース35を介して搭載保持され回転部22と共に回転しながら位置決め対象物25を保持すると共に位置決め対象物25を回転部22の回転軸と平行な方向に微小変位させる回転変位テーブル26と、回転状態にある回転変位テーブル26を微小変位駆動させるために必要な電力及び信号を固定部側で入出力可能な送受信装置27と、送受信装置27を介して回転運動を行う位置決め対象物25の変位を制御するコントローラ29とを備え、位置決め対象物25の変位及び傾きを位置決めするための回転変位テーブル26が、放射状リブ71及び円周リブ72によって剛性が高められたベース35を介して回転装置21の回転部22に搭載され、回転変位テーブル26の駆動軸と回転部22の回転軸とを一致させると共に、回転角依存振れ誤差を抑制して駆動軸と回転軸とのオフセットによって生じていた誤差をなくして位置決め対象物25の位置決め精度を向上させる。
請求項（抜粋）：
回転装置の回転部にベースを介して保持搭載され前記回転部と共に回転しながら位置決め対象物を保持すると共に前記位置決め対象物を前記回転部の回転軸と平行な方向に微小変位させる回転変位テーブルと、回転状態にある前記回転変位テーブルを微小変位駆動させるために必要な電力及び信号を固定部側で入出力可能な送受信装置と、回転運動を行う前記位置決め対象物の変位を前記送受信装置を介して制御するコントローラとを備え、前記回転変位テーブルを保持する前記ベースには補強材が設けられていることを特徴とする回転型位置決め装置。
IPC (8件)：
B23Q 15/22
, B23Q 1/30
, B24B 47/12
, B24B 49/18
, G05D 3/00
, G12B 5/00
, G01B 5/24
, G01B 21/22
B23Q 15/22
, B23Q 1/30
, B24B 47/12
, B24B 49/18
, G05D 3/00 A
, G05D 3/00 G
, G12B 5/00 A
, G01B 5/24
, G01B 21/22
, B23Q 1/14 C
