特許
J-GLOBAL ID：200903026000573480

真空ポンプ

発明者：
中村 雅哉

中村 雅哉 について


出願人/特許権者：
株式会社島津製作所

株式会社島津製作所 について


代理人 (1件)： 塩野入 章夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-029521
公開番号（公開出願番号）：特開2007-270829
出願日： 2007年02月08日
公開日（公表日）： 2007年10月18日
要約：
【課題】真空ポンプにおいて、振動検出センサの取り付けを容易とし、製造経費を抑制する。【解決手段】真空ポンプ1は、磁気浮上により回転支持されるロータにより吸排気を行う真空ポンプであり、ロータを磁気浮上させ回転駆動させるポンプユニット2と、ポンプユニットに磁気浮上および回転駆動のための電力を供給する電源ユニット3とを備え、このポンプユニット2と電源ユニット3とを一体あるいは連接した構成とすると共に、電源ユニット3に、ポンプユニット2の振動を検出する振動・姿勢検出部4のうちの少なくとも振動検出センサを設ける構成とする。真空ポンプ1は、ポンプユニット2と電源ユニット3とを一体化あるいは連接し、電源ユニット3が内部に備えている回路基板に加速度センサ等の振動検出センサおよび演算回路を取り付けることによって、新たに回路基板を設けることなく外部振動を検出する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
磁気浮上により回転支持されるロータにより吸排気を行う真空ポンプにおいて、 前記ロータを磁気浮上させ回転駆動させるポンプユニットと、前記ポンプユニットに磁気浮上および回転駆動のための電力を供給する電源ユニットとを備え、 前記ポンプユニットと電源ユニットとは一体あるいは連接し、 前記電源ユニットは、前記ポンプユニットの振動又は姿勢、あるいは振動および姿勢を検出する振動・姿勢センサを備えることを特徴とする、真空ポンプ。
IPC (2件)：
F04D 19/04 ,  F16C 32/04
FI (2件)：
F04D19/04 H ,  F16C32/04 A
Fターム (17件)：
3H131AA02 ,  3H131BA06 ,  3H131BA07 ,  3H131BA09 ,  3H131BA11 ,  3H131BA15 ,  3H131BA16 ,  3H131CA13 ,  3H131CA41 ,  3J102AA01 ,  3J102BA03 ,  3J102BA19 ,  3J102CA16 ,  3J102DA09 ,  3J102DA10 ,  3J102DB38 ,  3J102GA06
引用特許：
出願人引用 (4件)
全件表示
審査官引用 (3件)

前のページに戻る

TOP

BOTTOM