振動抑制機能を有する磁気軸受装置、振動推定機能を有する磁気軸受装置及び該磁気軸受装置を搭載したポンプ装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：椎名正利
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-207729
公開番号（公開出願番号）：特開2004-150628
出願日： 2003年08月18日
公開日（公表日）： 2004年05月27日
要約：

【課題】新たな振動センサを配設することなく、真空ポンプの被対象設備を含めた装置システム全体の低振動化を実現することが可能な振動抑制機能を有する磁気軸受装置、振動推定機能を有する磁気軸受装置及び該磁気軸受装置を搭載したポンプ装置を提供する。【解決手段】振動検出器503では、回転体103の変位のラプラス変換と所定の伝達関数とを乗算した結果と、回転体103に作用する不釣り合い力の変動分のラプラス変換と回転体103の質量の逆数とを乗算した結果とが、加算される。この計算結果は正負の極性が反転され、加算器505で補償器201の出力と加算される。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

回転体と、該回転体に浮上力を作用させる電磁石と、該電磁石が固設されたステータ部と、前記回転体の前記ステータ部に対する径方向及び/又は軸方向の相対変位を検出する変位検出手段と、該変位検出手段が検出した相対変位に基づいて前記浮上力の調整量を算出する磁気軸受制御補償器と、該磁気軸受制御補償器による前記浮上力の調整量の算出結果に応じて前記浮上力を調整する電磁石制御手段と、前記ステータ部に対する相対位置が固定された装置固定部の所定の物理量を検出する振動検出手段と、該振動検出手段の出力を、該出力の極性を反転し、少なくとも前記変位検出手段と前記磁気軸受制御補償器と前記電磁石制御手段によって構成される磁気軸受フィードバック制御手段の伝達信号に加算する加算手段とを備え、前記所定の物理量は、前記装置固定部及び/又は前記ステータ部の加速度、該加速度を所要回数だけ微分又は積分した変位、速度及び加加速度等のうちの少なくとも一つであり、前記加速度は、前記変位検出手段で検出された前記回転体の相対変位のラプラス変換と所定の伝達関数とを乗算した第1の乗算結果を時間領域に変換した変換結果であることを特徴とする振動抑制機能を有する磁気軸受装置。

IPC (5件)：

F16C32/04 , F04D19/04 , F04D29/04 , F04D29/66 , H02K7/09

FI (6件)：

F16C32/04 A , F04D19/04 A , F04D29/04 M , F04D29/04 R , F04D29/66 G , H02K7/09

Fターム (29件)：

3H022AA01 , 3H022BA06 , 3H022CA16 , 3H022DA11 , 3H031DA02 , 3H031EA07 , 3H031EA11 , 3H031FA13 , 3J102AA01 , 3J102BA17 , 3J102BA18 , 3J102CA02 , 3J102DA09 , 3J102DB04 , 3J102DB05 , 3J102DB27 , 3J102DB30 , 3J102DB37 , 3J102GA06 , 5H607AA04 , 5H607BB01 , 5H607BB06 , 5H607CC03 , 5H607CC05 , 5H607DD17 , 5H607FF06 , 5H607GG19 , 5H607GG21 , 5H607HH01

引用特許：

出願人引用 (8件)

アクティブ除振装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-387121 出願人：株式会社荏原製作所, 株式会社荏原電産
特開昭60-220219
特開昭62-258219

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