結晶シートの製造方法およびその製造装置ならびに太陽電池

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：深見久郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-371147
公開番号（公開出願番号）：特開2001-247396
出願日： 2000年12月06日
公開日（公表日）： 2001年09月11日
要約：

【要約】【課題】高品質な結晶シートを提供する。【解決手段】結晶シートの製造装置50aは、結晶シートが形成されるべき主表面を有する基板3と、融液8を保持するるつぼ9と、基板3の主表面が融液8に接触した後、融液8から離れるように基板3を移動させるために基板3を保持する可動部材2と、可動部材2を冷却するための冷却手段とを備える。

請求項（抜粋）：

結晶シートが形成されるべき主表面を有する板状体と、融液を保持する容器と、前記板状体の主表面が融液に接触した後、融液から離れるように前記板状体を移動させるために前記板状体を保持する可動部材と、前記可動部材を冷却するための冷却手段とを備えた、結晶シートの製造装置。

IPC (2件)：

C30B 29/06 503 , H01L 31/04

FI (2件)：

C30B 29/06 503 , H01L 31/04 A

Fターム (8件)：

4G077AA02 , 4G077AA03 , 4G077BA04 , 4G077CF03 , 4G077EG30 , 5F051AA01 , 5F051BA11 , 5F051CB01

引用特許：

審査官引用 (5件)

シリコンリボンの製造装置及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-187068 出願人：シャープ株式会社
太陽電池用柱状粒子を有する多結晶シートとその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-254517 出願人：アストロパワーインコーポレイテッド
特開平2-209727

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