ねじ溝式真空ポンプ、複合真空ポンプ、及び真空ポンプシステム

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：川井隆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-142577
公開番号（公開出願番号）：特開2000-337289
出願日： 1999年05月24日
公開日（公表日）： 2000年12月05日
要約：

【要約】【課題】良好な排気速度を得ることのできるねじ溝式真空ポンプ、複合ポンプ、及び真空ポンプシステムを提供すること。【解決手段】ロータ部材60と、ロータ部材60と同軸に固定配設されロータ部材60の周壁に対向する対向壁を有するステータ部材とを備え、ロータ部材60の周壁にロータ部材60の回転に伴って気体を移送するねじ溝62が形成されており、ねじ溝62の深さDは、最も吸気口16側において、20mm以上であり、吸気口16側から排気口17側へ行くに従い減少し、且つ吸気口16側から軸線方向の40mmまでは、最も吸気口16側の深さの80%以上であり、ねじ溝62のの径方向に対する傾きθは、吸気口16側から排気口17側へ行くに従い減少し、且つ軸線方向の40mmまでは吸気口16における傾きの80%以上であるねじ溝式真空ポンプ。

請求項（抜粋）：

回転するロータ部材と、前記ロータ部材と同軸に固定配設され、前記ロータ部材の周壁に対向する対向壁を有するステータ部材と、前記ロータ部材の前記周壁と前記ステータ部材の前記対向壁との間へ気体を導入する吸気口と、前記ロータ部材の前記周壁と前記ステータ部材の前記対向壁との間から気体を排気する排気口とを備え、前記ロータ部材の前記周壁及び前記ステータ部材の前記対向壁のうちの一方には、前記吸気口からの気体を前記ロータ部材の回転に伴って移送するねじ溝が形成されており、前記ねじ溝の深さは、最も吸気口側において、20mm以上であるか、又は前記周壁及び前記対応壁のうちの前記一方の前記ねじ溝を含めた直径の1/4以上であり、吸気口側から排気口側へ行くに従い減少しており、且つ前記吸気口側から前記ロータ部材の軸線方向の40mmまでは、前記最も吸気口側における深さの80%以上であり、前記ねじ溝の前記ロータ部材の径方向に対する傾きは、前記吸気口側から前記排気口側へ行くに従い減少しており、且つ前記ロータ部材の軸線方向の少なくとも40mmまでは前記吸気口における前記傾きの80%以上であることを特徴とするねじ溝式真空ポンプ。

Fターム (7件)：

3H031DA00 , 3H031DA01 , 3H031DA07 , 3H031EA00 , 3H031FA01 , 3H031FA02 , 3H031FA37

引用特許：

審査官引用 (8件)

特開平3-168388
特開平3-168388
スクリュー型真空ポンプおよびスクリュー加工機
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-137846 出願人：株式会社ティー・ディー技研

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