特許

J-GLOBAL ID：200903026065612075

液体吐出ヘッド

発明者： 村井 正己
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (3件)： 稲葉 良幸 ,  田中 克郎 ,  大賀 眞司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-200599
公開番号（公開出願番号）：特開2004-042329
出願日： 2002年07月09日
公開日（公表日）： 2004年02月12日
要約：

【課題】駆動電圧の印加により十分な変位を得ることができる圧電体素子を用いた液体吐出ヘッドを提供する。【解決手段】圧力室21が形成された基板20と、基板上に形成された振動板30と、振動板上に形成された圧電体薄膜素子40と、を備えた液体吐出ヘッドにおいて、前記振動板が前記圧力室側に凸となるようにたわんでおり、前記振動板のたわみ量Sが、前記圧力室の幅Wの0.4%以下である。前記圧電体薄膜素子は、100面配向度が70%以上のPZTからなる圧電体薄膜を備えることが望ましい。【選択図】 図4

請求項（抜粋）：

圧力室が形成された基板と、基板上に形成された振動板と、振動板上に形成された圧電体薄膜素子と、を備えた液体吐出ヘッドにおいて、 前記振動板が前記圧力室側に凸となるようにたわんでおり、前記振動板のたわみ量が、前記圧力室の幅の0.4%以下である、液体吐出ヘッド。

IPC (5件)：

B41J2/045 ,  B41J2/055 ,  H01L41/08 ,  H01L41/09 ,  H01L41/187

FI (5件)：

B41J3/04 103A ,  H01L41/08 C ,  H01L41/18 101D ,  H01L41/18 101F ,  H01L41/08 D

Fターム (7件)：

2C057AF93 ,  2C057AG44 ,  2C057AG52 ,  2C057AP14 ,  2C057AP34 ,  2C057BA03 ,  2C057BA14

引用特許：

審査官引用 (2件)

• インクジェット式記録ヘッド、及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-216634   出願人：セイコーエプソン株式会社
• 圧電体素子、インクジェット式記録ヘッド、プリンタ、及び圧電体素子の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-083970   出願人：セイコーエプソン株式会社