特許
J-GLOBAL ID：200903031040276589

インクジェット式記録ヘッド、及びその製造方法

発明者：
西脇 学

西脇 学 について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (1件)： 鈴木 喜三郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-216634
公開番号（公開出願番号）：特開平11-058730
出願日： 1997年08月11日
公開日（公表日）： 1999年03月02日
要約：
【要約】【課題】 積層薄膜の残留応力による、製造行程上の不良および特性低下を改善する。或いはさらなる特性向上を得る構造とその製造方法を提案する。【解決手段】 圧力発生膜を構成する積層薄膜の一つにホウ素拡散珪素膜を用いることを特徴とする。
請求項（抜粋）：
列状に隔壁を介して珪素単結晶基板に配列されたインク加圧室、該加圧室の片面を覆蓋し前記隔壁により懸架かつ固定され、加圧室の一壁面をなすがごとく配置された弾性膜と下部駆動電極膜と圧電性膜と上部駆動電極膜からなる圧力発生膜、各々の加圧室に連通するインク吐出ノズルから構成され、前記圧力発生膜のたわみ変形で発生する圧力によりインクを吐出するインクジェット式記録ヘッドであって、前記弾性膜は少なくともほう素が拡散された珪素と下部駆動電極からなることを特徴とするインクジェット式記録ヘッド。
IPC (5件)：
B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  B41J 2/16 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/22
FI (5件)：
B41J 3/04 103 A ,  B41J 3/04 103 H ,  H01L 41/08 C ,  H01L 41/08 J ,  H01L 41/22 Z
引用特許：
審査官引用 (4件)
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