特許
J-GLOBAL ID:200903026100420818
磁気研磨機における研磨容器
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
大内 俊治
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-376814
公開番号(公開出願番号):特開2001-179598
出願日: 1999年12月21日
公開日(公表日): 2001年07月03日
要約:
【要約】【課題】 磁気研磨機において、研磨効率を向上する研磨容器を提供する。【解決手段】 研磨容器8の底面の中心点Pより外れた位置に、高さ方向に延びる補助部片15を設けて成るものである。
請求項(抜粋):
円盤表面に、S極ゾーンとN極ゾーンとを交互に配置してモータにより高速回転する磁石円盤上部に、非磁化素材から成る固定板を介して、非磁化素材から成る研磨容器を固定し、該研磨容器内に、磁化された研磨材と非磁化素材から成る被研磨物と研磨液とをそれぞれ収納し、前記磁石円盤の回転により、研磨材を研磨容器の底面に沿って旋回させることにより、被研磨物を研磨する構成の磁気研磨機における研磨容器において、該研磨容器の底面の中心点より外れた位置に、高さ方向に伸びる補助部片を設けたことを特徴とする磁気研磨機における研磨容器
Fターム (8件):
3C058AA07
, 3C058AA09
, 3C058AA14
, 3C058AA16
, 3C058AB04
, 3C058CA02
, 3C058CA04
, 3C058CB03
引用特許:
審査官引用 (2件)
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磁気研磨機に使用する容器
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-057020
出願人:株式会社プライオリティ
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研磨装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平5-215346
出願人:株式会社ハープ
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