特許
J-GLOBAL ID：200903026139736960
テクスチャ付き表面を特徴づけするためのシステム及び方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
津国 肇
, 篠田 文雄
, 束田 幸四郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-249455
公開番号（公開出願番号）：特開2005-131781
出願日： 2004年08月30日
公開日（公表日）： 2005年05月26日
要約：
【課題】CMP研磨に最適な研磨パッドを提供すること。【解決手段】 テクスチャ付き表面特徴づけシステム100は、物品108のテクスチャ付き表面104と接触して、その表面を特徴づけする特徴づけ装置110を含む。特徴づけシステムは、テクスチャ付き表面が特徴づけ装置と接触したときテクスチャ付き表面上に流体128を流すための流体送出しシステム204を含む。特徴づけ装置の圧力計測構造144、160が、流体がテクスチャ付き表面上を流れるときの流体に関する圧力データを提供する。この圧力データを使用してテクスチャ付き表面を特徴づける。【選択図】 なし
請求項（抜粋）：
複数の凹凸を有するテクスチャ付き表面を特徴づけする方法であって、
a)境界表面及びテクスチャ付き表面を互いに対面する関係に動かして、前記テクスチャ付き表面の凹凸の少なくともいくつかが前記境界表面と接触して流動領域を画定するようにするステップと、
b)前記流動領域内に流体を流して前記流動領域内の前記流体に圧力を発生させるステップと、
c)前記流動領域中の複数の場所で前記流体の圧力を計測して圧力データを得るステップと
を含む方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (3件)：
3C058AA07
, 3C058AC04
, 3C058DA17
