特許
J-GLOBAL ID：200903026143190263

静電容量型センサの製造方法

発明者：
吉田 勇作

吉田 勇作 について


出願人/特許権者：
株式会社アカシ

株式会社アカシ について


代理人 (1件)： 荒船 博司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-003415
公開番号（公開出願番号）：特開2003-207517
出願日： 2002年01月10日
公開日（公表日）： 2003年07月25日
要約：
【要約】【課題】 静電容量型センサに具備される可変容量キャパシタを確実かつ容易に真空封止する技術を提供する。【解決手段】 第1工程では、可変容量キャパシタが外気に通じるようセンサチップ10を構成する。第2工程では、センサチップ10をゾンデ30内に固定する。第3工程では、ゾンデ30内の気密を保ちつつ当該内圧を大気圧未満の所定の気圧に調節する。第4工程では、ゾンデ30を気密封止する。
請求項（抜粋）：
被測定体の動きに伴って変位するよう構成された可動極板と、前記可動極板と対面する位置に固定された少なくとも1つの固定極板と、を含んで構成される検出部を具備し、前記可動極板と前記固定極板とで構成される可変容量キャパシタの静電容量に基づいて前記被測定体の動きを検出する静電容量型センサの製造方法に於いて、前記可動極板と前記固定極板とが外気に通じるよう前記検出部を構成する第1工程と、次いで、当該検出部をゾンデ内に固定する第2工程と、次いで、前記ゾンデ内の気密を保ちつつ当該内圧を大気圧未満の所定の気圧に調節する第3工程と、次いで、前記ゾンデを気密封止する第4工程と、を含む事を特徴とする静電容量型センサの製造方法。
IPC (3件)：
G01P 15/125 ,  G01D 5/24 ,  H01L 29/84
FI (3件)：
G01P 15/125 ,  H01L 29/84 Z ,  G01D 5/24 B
Fターム (13件)：
2F077AA11 ,  2F077HH13 ,  2F077VV01 ,  2F077VV33 ,  4M112AA02 ,  4M112BA07 ,  4M112CA21 ,  4M112CA24 ,  4M112DA18 ,  4M112EA02 ,  4M112EA13 ,  4M112FA08 ,  4M112GA01
引用特許：
審査官引用 (3件)

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