特許

J-GLOBAL ID：200903026178062802

静電チャックおよびその製造方法

発明者： 内山 一郎 ,  寺尾 公一
出願人/特許権者： 住友金属工業株式会社
代理人 (1件)： 深見 久郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-137065
公開番号（公開出願番号）：特開2000-332090
出願日： 1999年05月18日
公開日（公表日）： 2000年11月30日
要約：

【要約】【課題】 比較的低い印加電圧で比較的高い吸着力を示し、好ましい放熱性を有し、さらに比較的低いコストで製造できる静電チャックを提供する。【解決手段】 静電チャックは、物体を静電気力により吸着するための面1bを有する板状体1と、板状体1に電界を印加するための内部電極2とを備える。板状体1は、電気絶縁性セラミックス材料の焼結体中に該セラミックス材料を焼結できる温度より高い融点を有する金属が分散された複合材料からなる。複合材料のためのセラミックス材料として窒化アルミニウムを用いることができ、金属としてタングステンまたはモリブデンを用いることができる。

請求項（抜粋）：

物体を静電気力により吸着するための面を有する部材と、前記部材に電界を印加するための電極とを備える静電チャックであって、前記部材が、電気絶縁性セラミックス材料の焼結体中に前記セラミックス材料を焼結できる温度より高い融点を有する金属が分散された複合材料からなることを特徴とする、静電チャック。

IPC (3件)：

H01L 21/68 ,  B23Q 3/15 ,  H02N 13/00

FI (3件)：

H01L 21/68 R ,  B23Q 3/15 D ,  H02N 13/00 D

Fターム (7件)：

3C016GA10 ,  5F031CA02 ,  5F031HA02 ,  5F031HA03 ,  5F031HA16 ,  5F031MA28 ,  5F031MA29

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 静電吸着装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-282640   出願人：信越化学工業株式会社
• 静電チャック基盤とその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-286365   出願人：新日本製鐵株式会社