特許
J-GLOBAL ID：200903026202655356
重畳式DOEホモジナイザ光学系
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
川瀬 茂樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-066616
公開番号（公開出願番号）：特開2005-257830
出願日： 2004年03月10日
公開日（公表日）： 2005年09月22日
要約：
【課題】 レーザから出たガウシアンビームを変形して像面でパワーが強力で均一である帯状のビームを作り出すこと。【解決手段】 直径dのガウシアンビームを軸から離れる方向に回折して後方距離fの位置にある軸線に直交する像面Iにおいて軸線から外れた位置でdと異なる一辺qをもつ矩形(q×w)断面の準均一分布ビームに変換する複数のオフアクシス型の回折型光学部品(DOE)(オンアクシス型が一つあってもよい)を回折角Θが大きいものを外側に回折角Θが小さいものを内側になるようにレーザ軸線と基準面Kの交点である基準点に一次元的に配列し、直径dのガウシアンビームを生ずるレーザをそれぞれのDOEの軸線上に配置し、レーザからのガウシアンビームをオフアクシス型DOEで回折し後方fの像面において隣接DOEからの回折光が一部重畳し合うようにして像面において帯状の均一パワーのビームを得るようしたものである。【選択図】 図3
請求項（抜粋）：
直径dのガウシアンビームを発生する複数のレーザを軸線(z方向)のピッチがpであるようにx方向に平行二次元的に並列配置し、直径dのガウシアンビームを軸線から離れる方向に回折して後方距離fの位置にある軸線に直交する像面I(xy面)において軸線から外れた位置でpより小さい一辺qをもつ矩形(q×w)断面の準均一分布ビームに変換するオフアクシス型の回折型光学部品(DOE)を、レーザの軸線と直交する基準面Kとレーザ軸線が交差する基準点上に回折角が大きいものが外側に、回折角が小さいものが内側になるように一次元的に配列し、複数のレーザからのガウシアンビームを複数のオフアクシス型回折型光学部品(DOE)で集束する方向に回折し後方fの像面Iにおいて隣接する回折型光学部品(DOE)からの回折光が一部重畳し合うようにして像面Iにおいてx方向に延びる帯状の均一パワーのビームを得るようした事を特徴とする重畳式DOEホモジナイザ光学系。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (6件)：
2H049AA03
, 2H049AA04
, 2H049AA45
, 2H049AA50
, 2H049AA63
, 2H049AA66
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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