磁気記録媒体およびその製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山田稔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-136294
公開番号（公開出願番号）：特開平6-349054
出願日： 1993年06月08日
公開日（公表日）： 1994年12月22日
要約：

【要約】【目的】硬度の高いスライダー材料に対応でき、CCS耐久性に優れ、カーボン保護膜の薄膜化により高密度記録が実現できる磁気記録媒体を提供すること。【構成】水素含有のカーボン保護膜4はメタンを混入したスパッタリングガス雰囲気でArスパッタリングにより成膜されるが、カーボン保護膜4は下層の第1のカーボン膜4aと上層の第2のカーボン膜4bとからなる2層膜構造である。第1のカーボン膜4aの水素含有率は25at%程度で微小硬度60GPa以上の高硬度膜である。また第2のカーボン膜4bの水素含有率は35at%程度で微小硬度50GPa以下の柔軟性のある膜である。ここでは、第1のカーボン膜4a及び第2のカーボン膜4bの膜厚はそれぞれ略等しく100Å程度にしてある。

請求項（抜粋）：

非磁性の基体上に積層された磁性層を保護するカーボン保護膜を少なくとも有する磁気記録媒体において、前記カーボン保護膜は、前記磁性層の上に形成された第1の水素含有率を持つ第1のカーボン膜と、この第1のカーボン膜の上に形成された第1の水素含有率より大きい第2の水素含有率を持つ第2のカーボン膜とから構成された少なくとも2層構造であることを特徴とする磁気記録媒体。

IPC (4件)：

G11B 5/72 , C23C 14/06 , C23C 14/34 , G11B 5/84

引用特許：

審査官引用 (6件)

特開平3-245321
特開昭62-277617
特開平4-069815

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