クリーン室間における物体移送用通路

発明者： , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (2件)：板垣孝夫 , 森本義弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-314860
公開番号（公開出願番号）：特開2005-082297
出願日： 2003年09月08日
公開日（公表日）： 2005年03月31日
要約：

【課題】クリーン度が異なるクリーン室間にて物体などを移送する際に、その構成が簡単な移送用通路を提供する。【解決手段】クリーン度が異なるクリーン室2,3同士間に亘って設けられる物体移送用通路1であって、一端側が一方のクリーン室2に開口されるとともに他端側が他方のクリーン室3に開口された通路本体11の下壁板11cに空気排出機13を設けるとともに、通路本体11内に進入する搬送車両8を検出する進入用検出器14からの検出信号に応じて空気排出機13を、低速運転から通常運転に切り替えるための制御装置を具備したもの。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

クリーン度が異なるクリーン室同士間に亘って設けられる物体移送用通路であって、一端側が一方のクリーン室に開口されるとともに他端側が他方のクリーン室に開口された通路本体に空気排出機を設けたことを特徴とするクリーン室間における物体移送用通路。

IPC (3件)：

B65G49/00 , B65G49/07 , H01L21/68

FI (3件)：

B65G49/00 A , B65G49/07 C , H01L21/68 A

Fターム (11件)：

5F031CA02 , 5F031GA57 , 5F031JA01 , 5F031JA14 , 5F031JA17 , 5F031JA22 , 5F031NA02 , 5F031NA03 , 5F031NA08 , 5F031NA14 , 5F031NA15

引用特許：

出願人引用 (1件)

実公平3-34581号公報

審査官引用 (6件)

クリーン作業装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-255541 出願人：新明和工業株式会社
清浄保管装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-080989 出願人：株式会社豊田自動織機製作所
気流搬送装置およびその制御方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-020561 出願人：株式会社日立製作所

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