特許

J-GLOBAL ID：200903070495564359

クリーンルーム設備の空調制御方法及びグレーチングユニット

発明者： 南 輝雄 ,  杉浦 匠 ,  栗林 卓 ,  加藤 浩二
出願人/特許権者： 日立プラント建設株式会社
代理人 (1件)： 松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-212862
公開番号（公開出願番号）：特開2000-046390
出願日： 1998年07月28日
公開日（公表日）： 2000年02月18日
要約：

【要約】【課題】 自動搬送台車を備えたクリーンルームを常に清浄に維持することのできるクリーンルーム設備の空調制御方法を提供すること。【解決手段】 天井12に複数のファンフィルタユニット14を設置し、前記各ファンフィルタユニットから清浄空気を鉛直下方にそれぞれ送風して、前記グレーチング床16から排気するとともに、前記グレーチング床に軌道に沿って走行する自動搬送台車26を備えたクリーンルーム設備の空調制御方法において、前記自動搬送台車26の走行域36に沿って前記自動搬送台車のAGV感知光電センサ28を複数個設置し、該AGV感知光電センサによる前記自動搬送台車26の位置確認信号に基づいて前記自動搬送台車の前後の前記ファンフィルタユニット14の送風量を増加させることを特徴としている。

請求項（抜粋）：

天井に複数のファンフィルタユニットを設置し、前記各ファンフィルタユニットから清浄空気を鉛直下方にそれぞれ送風してグレーチング床から排気するとともに、前記グレーチング床に走行する自動搬送台車を備えたクリーンルーム設備の空調制御方法において、前記自動搬送台車の走行位置を検出して該検出された走行位置に対応する前記ファンフィルタユニットの送風量を増加させることを特徴とするクリーンルーム設備の空調制御方法。

IPC (2件)：

F24F 7/06 ,  B65G 49/00

FI (2件)：

F24F 7/06 C ,  B65G 49/00 A

Fターム (2件)：

3L058BF08 ,  3L058BG04

引用特許：

審査官引用 (2件)

• クリーンルーム装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-276117   出願人：ソニー株式会社
• クリーンルーム床パネル
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-115597   出願人：日本電気株式会社