特許
J-GLOBAL ID：200903026221917752
気化器
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
渡邉 勇 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-148543
公開番号（公開出願番号）：特開平10-085581
出願日： 1997年05月22日
公開日（公表日）： 1998年04月07日
要約：
【要約】【課題】 多孔質体を有する気化器への熱の供給を円滑に行って、複雑な特性を有する液体原料の気化を効率的かつ円滑に行なわせる。【解決手段】 互いに対向する受液面9aと排気面9bを有する多孔質体9を有する気化部Bと、前記多孔質体の受液面に液体原料を供給する原料供給路1を有する原料供給部Aと、該多孔質体に熱的に接触する熱媒体流路P1,P2,P3と、前記熱媒体流路に前記液体原料の気化温度以上に加熱した熱媒体を流通させる熱媒体供給系とを有することを特徴とする。
請求項（抜粋）：
互いに対向する受液面と排気面を有する多孔質体を有する気化部と、前記多孔質体の受液面に液体原料を供給する原料供給路を有する原料供給部と、該多孔質体に熱的に接触する熱媒体流路と、前記熱媒体流路に前記液体原料の気化温度以上に加熱した熱媒体を流通させる熱媒体供給系とを有することを特徴とする気化器。
IPC (4件)：
B01J 7/02
, C23C 16/44
, C30B 35/00
, H01L 21/31
B01J 7/02 Z
, C23C 16/44 C
, C30B 35/00
, H01L 21/31 B
