薄膜トランジスタ一体型カラーフィルターの製造方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：花岡明子 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-067364
公開番号（公開出願番号）：特開2001-194659
出願日： 2000年03月10日
公開日（公表日）： 2001年07月19日
要約：

【要約】【課題】カラーフィルターと薄膜トランジスタを形成した基板との位置合わせを不要とし、工程数も少なく、高解像度で制御性も高く、低コストで高性能な液晶表示素子用の薄膜トランジスタ一体型カラーフィルターの製造方法を提供する。【解決手段】透明基板上に薄膜トランジスタと透明導電膜を配列形成して液晶表示用基板を製造する工程と、該液晶表示用基板を、着色剤を含む水系の電着液に接触させて通電し、電気化学的に水素イオン濃度を変化させて該液晶表示用基板の透明導電膜上に着色剤を析出させて、導電性の着色電着膜を形成する工程と、を含む。この電着膜形成工程を、着色剤の色相を変えて繰り返すことで薄膜トランジスタ一体型カラーフィルターが形成できる。

請求項（抜粋）：

透明基板上に薄膜トランジスタと透明導電膜を配列形成して液晶表示用基板を製造する工程と、該液晶表示用基板を、着色剤を含む水系の電着液に接触させて通電し、電気化学的に水素イオン濃度を変化させて該液晶表示用基板の透明導電膜上に着色剤を析出させて、導電性の着色電着膜を形成する工程と、を含むことを特徴とする薄膜トランジスタ一体型カラーフィルターの製造方法。

IPC (5件)：

G02F 1/1335 505 , G02B 5/20 101 , G02F 1/1368 , H01L 29/786 , H01L 21/336

FI (4件)：

G02F 1/1335 505 , G02B 5/20 101 , G02F 1/136 500 , H01L 29/78 612 Z

Fターム (37件)：

2H048BA11 , 2H048BA45 , 2H048BA62 , 2H048BB02 , 2H048BB47 , 2H091FA02Y , 2H091FC12 , 2H091FC26 , 2H091GA13 , 2H091LA12 , 2H091LA15 , 2H092JA24 , 2H092JB51 , 2H092MA13 , 2H092MA17 , 2H092NA07 , 2H092NA27 , 2H092NA29 , 2H092PA08 , 5F110AA16 , 5F110BB01 , 5F110CC07 , 5F110DD02 , 5F110EE04 , 5F110FF01 , 5F110FF03 , 5F110GG02 , 5F110GG15 , 5F110HK03 , 5F110HK04 , 5F110HK09 , 5F110HK16 , 5F110HK22 , 5F110NN12 , 5F110NN16 , 5F110NN24 , 5F110NN80

引用特許：

審査官引用 (22件)

液晶表示素子用基板の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-158638 出願人：カシオ計算機株式会社
特開平3-087702
特開平3-087702

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