感光性樹脂組成物

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出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：内山充
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-147097
公開番号（公開出願番号）：特開2000-338668
出願日： 1999年05月26日
公開日（公表日）： 2000年12月08日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】半導体素子、回路配線板などの製造に応用することができ、感度と解像度が高く、耐熱性の優れた樹脂層を得ることができるネガ型の感光性樹脂組成物の提供。【解決手段】一般式[1]又は[2]で表される構造単位を有するcis-ジエン置換ポリアミック酸又はポリイミドと酸素増感剤とを含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。ただし、一般式[1]においてR1〜R4の少なくとも1つが、一般式[2]においてR5〜R12の少なくとも1つが、cis-ジエン構造を有する1価の有機基である。

請求項（抜粋）：

一般式[1]で表される構造単位を有するcis-ジエン置換ポリアミック酸又はポリイミドと酸素増感剤とを含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。【化1】(ただし、式中、R1、R2、R3及びR4の少なくとも1つはcis-ジエン構造を有する1価の有機基であり、残余は、それぞれ独立に水素、ヒドロキシル基、カルボキシル基、炭素数1〜20のアルキル基又は炭素数1〜20のアルコキシル基であり、X1及びX2はそれぞれ独立に酸素、硫黄又は炭素数1〜4の置換基を有していてもよいアルキレン基若しくはアルキレンオキシ基であり、Ar1及びAr2はそれぞれ独立に2価の芳香族基であり、l1、l2、m1及びm2はそれぞれ独立に0又は1である。ただし、l1が1のときはm1も1であり、l2が1のときはm2も1である。)

IPC (5件)：

G03F 7/038 504 , C08G 73/10 , G03F 7/027 514 , G03F 7/028 , H01L 21/027

FI (5件)：

G03F 7/038 504 , C08G 73/10 , G03F 7/027 514 , G03F 7/028 , H01L 21/30 502 R

Fターム (63件)：

2H025AA01 , 2H025AA02 , 2H025AA10 , 2H025AB15 , 2H025AB16 , 2H025AC01 , 2H025AD01 , 2H025BC01 , 2H025BC69 , 2H025CA00 , 2H025CA41 , 2H025FA03 , 2H025FA17 , 2H025FA29 , 4J043PA02 , 4J043PA19 , 4J043QB15 , 4J043QB26 , 4J043QB31 , 4J043QB34 , 4J043RA35 , 4J043SA01 , 4J043SA06 , 4J043SA31 , 4J043SA49 , 4J043SA62 , 4J043SA64 , 4J043SA71 , 4J043SA72 , 4J043SA73 , 4J043SA77 , 4J043SA81 , 4J043SB01 , 4J043SB02 , 4J043TA01 , 4J043TA22 , 4J043TB01 , 4J043TB02 , 4J043UA121 , 4J043UA122 , 4J043UA131 , 4J043UA132 , 4J043UA662 , 4J043UA672 , 4J043UB011 , 4J043UB061 , 4J043UB121 , 4J043UB131 , 4J043UB281 , 4J043UB401 , 4J043UB402 , 4J043VA021 , 4J043VA022 , 4J043VA051 , 4J043VA061 , 4J043VA062 , 4J043VA081 , 4J043YB07 , 4J043YB18 , 4J043YB19 , 4J043YB21 , 4J043YB31 , 4J043ZB22

引用特許：

審査官引用 (4件)

感光性樹脂組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-243450 出願人：理化学研究所
特開昭55-045748
感光性樹脂組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-015176 出願人：理化学研究所, 住友ベークライト株式会社

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