特許
J-GLOBAL ID：200903026377741522
圧電アクチュエータ及び流体搬送ポンプ
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (2件)：
高野 明近 (外2名)
, 高野 明近 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-333696
公開番号（公開出願番号）：特開2001-156349
出願日： 1999年11月25日
公開日（公表日）： 2001年06月08日
要約：
【要約】【課題】 アクチュエータ設計での自由度を増し、後工程での接合時による素子破壊を防止する。【解決手段】 基板10には堀加工が施されており、この堀加工面に圧電素子20が形成される。基板10の加工面にはSi材料が露出しているので絶縁膜11を形成する。圧電素子20は下部電極21、圧電セラミックス厚膜(PZT)22、上部電極23からなるもので、電極21としてPt系材料の膜形成をし、その上に、ガスデポジション法にて圧電厚膜22を形成し、次に、上部電極23を膜形成する。このようにして形成されたアクチュエータ素子は、厚膜22側(A側)の面に対し、何ら凸部を形成しない為、その後の工程によるアクチュエータ部の破壊不良は発生しない。基板10の反対側(B側)の面にも堀加工を施すことにより、アクチュエータ部に対応する流体隔壁が精度よく形成でき、その後、閉塞板30を接合することで流体のキャビティ40が形成される。
請求項（抜粋）：
基板上に圧電素子を積層してなる圧電アクチュエータに於いて、積層される圧電素子が基板の第1の表面を堀加工することにより形成される堀加工面上に積層されていることを特徴とする圧電アクチュエータ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C23C 24/00
, H01L 41/08 C
4K044AA11
, 4K044AB10
, 4K044BA12
, 4K044BB02
, 4K044BC14
, 4K044CA23
