基板搬送装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小谷悦司 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-135056
公開番号（公開出願番号）：特開平9-321118
出願日： 1996年05月29日
公開日（公表日）： 1997年12月12日
要約：

【要約】【課題】基板の撓みを抑制すると共に基板表面の乾燥ムラを防止する。【解決手段】角形基板13の搬送に際して、姿勢制御用のエアーシリンダ13を駆動して、第1の基板支持部材12および第2の基板支持部材20と共に角形基板13全面を水平姿勢から所定の傾斜姿勢に切り替えるため、撓み方向の水平成分が短縮化されて角形基板13の撓みが抑制され、その分、角形基板13の撓み過ぎによる破損を抑制することができる。また、このような均一傾斜姿勢の角形基板13の上位側の端縁部に沿って処理液供給部材22を配設し、この処理液供給部材22から処理液を角形基板13の上位端縁部に供給するため、処理液が途中で液溜まりとなるようなこともなく傾斜姿勢の下位端縁部から排出されるので、角形基板13への処理液の自重が軽減されて角形基板13の撓みが抑制され、その分、角形基板13の撓み過ぎによる破損も抑制することができる。

請求項（抜粋）：

基板を基板支持部材で支持して搬送する基板搬送装置において、前記基板支持部材は、前記基板に当接して基板全面を傾斜姿勢で支持することを特徴とする基板搬送装置。

IPC (2件)：

H01L 21/68 , H01L 21/304 341

FI (2件)：

H01L 21/68 A , H01L 21/304 341 C

引用特許：

審査官引用 (6件)

特開平3-196543
特開平4-196519
特開平3-196543

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