特許
J-GLOBAL ID：200903026465060462
透光孔付きカンチレバー及びその製造方法並びにそれを用いたビーム測定方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
三木 久巳
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-242581
公開番号（公開出願番号）：特開2004-085220
出願日： 2002年08月22日
公開日（公表日）： 2004年03月18日
要約：
【課題】先鋭な探針点により高精度のAFM測定が可能で、探針点近傍に光導入手段を設けて光相互作用の測定が可能なカンチレバーを開発する。【解決手段】本発明に係る透光孔付きカンチレバー2は、一端を支持されるカンチレバー部4と、このカンチレバー部4から空洞部10を有して突設された透光性材料で形成される壁体状突出部6と、この壁体状突出部6の先端に先鋭に形成された探針点8と、この探針点8を含んだ微小領域を除くように壁体状突出部の内壁面6a又は/及び外壁面6bに形成された不透光性被膜20とから構成され、前記探針点8を含む微小領域が光を透過させる透光孔12として機能することを特徴とする。探針点8を有するから高精度のAFM測定が可能であり、探針点8を含む微小領域を光透過性の透光孔12としたから、探針点8の極近傍に光照射して近接場Sを形成し、AFM測定と近接場測定を可能にできる。【選択図】 図4
請求項（抜粋）：
一端を支持されるカンチレバー部と、このカンチレバー部から空洞部を有して突設された透光性材料で形成される壁体状突出部と、この壁体状突出部の先端に先鋭に形成された探針点と、この探針点を含んだ微小領域を除くように壁体状突出部の内壁面又は/及び外壁面に形成された不透光性被膜とから構成され、前記探針点を含む微小領域が光を透過させる透光孔として機能することを特徴とする透光孔付きカンチレバー。
IPC (6件)：
G01N13/14
, G01B21/30
, G01N13/16
, G11B7/135
, G11B7/22
, G12B21/08
G01N13/14 B
, G01B21/30
, G01N13/16 C
, G11B7/135 A
, G11B7/22
, G12B1/00 601D
2F069AA60
, 2F069DD19
, 2F069GG04
, 2F069GG07
, 2F069GG62
, 2F069LL03
, 2F069MM04
, 5D119CA20
, 5D119JA34
, 5D119NA05
, 5D789CA20
, 5D789JA34
, 5D789NA05
