特許
J-GLOBAL ID：200903098247736978
微小開口を有するプローブの作製法とそれによるプローブ、並びに該プローブを用いた走査型近接場光顕微鏡と走査型トンネル顕微鏡との複合装置、および該プローブを用いた記録再生装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長尾 達也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-103361
公開番号（公開出願番号）：特開平9-269329
出願日： 1996年03月29日
公開日（公表日）： 1997年10月14日
要約：
【要約】【課題】本発明は、大きさにばらつきがなく、歩留まりも良好な微小開口が短時間で容易に形成でき、集積化・小型化が可能で分解能が良好な微小開口を有するプローブの作製法とそれによるプローブ、並びに該プローブを用いた走査型近接場光顕微鏡と走査型トンネル顕微鏡との複合装置、および該プローブを用いた記録再生装置を提供することを目的としている。【解決手段】本発明は、上記課題を解決するため、走査型近接場光顕微鏡およびその原理を応用した情報記録再生装置等における先端のコーティング部に微小開口を有するプローブの作製法において、前記プローブを導電性材料でコーティングしてその先端を導電性基板に接触させ、該コーティングされたプローブと該基板との間に電圧を印加することにより、該プローブ先端のコーティング材料を除去し微小開口を形成することを特徴とする微小開口を有するプローブの作製法と、それによるプローブ、並びに該プローブを用いた走査型近接場光顕微鏡と走査型トンネル顕微鏡との複合装置、および該プローブを用いた記録再生装置を構成するものである。
請求項（抜粋）：
走査型近接場光顕微鏡およびその原理を応用した情報記録再生装置等における先端のコーティング部に微小開口を有するプローブの作製法において、前記プローブを導電性材料でコーティングしてその先端を導電性基板に接触させ、該コーティングされたプローブと該基板との間に電圧を印加することにより、該プローブ先端のコーティング材料を除去し微小開口を形成することを特徴とする微小開口を有するプローブの作製法。
IPC (4件)：
G01N 37/00
, G01B 11/30
, G11B 9/00
, G11B 11/00
G01N 37/00 E
, G01N 37/00 C
, G01B 11/30 Z
, G11B 9/00
, G11B 11/00
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (5件)
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