特許
J-GLOBAL ID：200903026468197531

プラズマエッチング装置用電極板

発明者：
米久 孝志

米久 孝志 について

, 
上原 明彦

上原 明彦 について


出願人/特許権者：
三菱マテリアル株式会社

三菱マテリアル株式会社 について


代理人 (1件)： 富田 和夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-236064
公開番号（公開出願番号）：特開2003-051491
出願日： 2001年08月03日
公開日（公表日）： 2003年02月21日
要約：
【要約】【課題】プラズマエッチング装置に均一な密度のプラズマを発生させるための電極板を提供する。【解決手段】電極板の上面に対して平行な面からなり電極板の外周部に設けられた電極支持部分19と、この電極支持部分19の内周端から中心部に向かって電極板19の厚さが薄くなるように傾斜している傾斜面14を有するプラズマエッチング装置用電極板20であって、この電極板20は単結晶シリコン、多結晶シリコンまたは柱状晶シリコンで構成されている。
請求項（抜粋）：
電極板の上面に対して平行な面からなり電極板の外周部に設けられた電極支持部分と、この電極支持部分の内周端から中心部に向かって電極板の厚さが薄くなるように傾斜している傾斜面を有することを特徴とするプラズマエッチング装置用電極板。
IPC (3件)：
H01L 21/3065 ,  B01J 19/08 ,  H05H 1/46
FI (3件)：
B01J 19/08 H ,  H05H 1/46 A ,  H01L 21/302 C
Fターム (23件)：
4G075AA24 ,  4G075AA30 ,  4G075BC02 ,  4G075BC06 ,  4G075BD14 ,  4G075CA12 ,  4G075CA47 ,  4G075CA65 ,  4G075DA01 ,  4G075EB01 ,  4G075EB41 ,  4G075EC21 ,  4G075EE01 ,  4G075EE02 ,  4G075FB02 ,  5F004AA01 ,  5F004BA06 ,  5F004BA07 ,  5F004BB11 ,  5F004CA02 ,  5F004CA03 ,  5F004DA16 ,  5F004DB03
引用特許：
審査官引用 (3件)
  • エッチング装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-124351   出願人：ソニー株式会社
  • 特開平2-106925
  • プラズマ処理装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-165229   出願人：東京エレクトロン株式会社

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