特許

J-GLOBAL ID：200903026468486339

ガラスセラミックパネルと薄膜リボンヒータ要素を有する基板加熱装置

発明者： ホールデン スコット シー. ,  アズディーハ メーラン ,  モスキーニ ローレンス アール. ,  ディルマガーニ ダリウス ,  ヴァレンザ マリオ
出願人/特許権者： ブルックス オートメーション インコーポレイテッド
代理人 (1件)： 藤村 元彦 (外1名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-504424
公開番号（公開出願番号）：特表2002-505795
出願日： 1998年05月19日
公開日（公表日）： 2002年02月19日
要約：

【要約】基板受容チャンバを形成するハウジングと、該チャンバ内部に配設されるヒータ(24)とを有する基板加熱装置。該ヒータは、2枚のガラスセラミックパネル(36、37)の間にはさまれる薄膜平板リボンヒータ要素(38)を有する。

請求項（抜粋）：

基板加熱装置であって、 基板受容チャンバを形成しているハウジングと、 前記チャンバに配設されるヒータとを含み、前記ヒータは2枚のガラスセラミックパネルにはさまれたヒータ要素を含むことを特徴とする基板加熱装置。

IPC (4件)：

H05B 3/86 ,  F27D 11/02 ,  H05B 3/10 ,  H05B 3/68

FI (4件)：

F27D 11/02 A ,  H05B 3/10 A ,  H05B 3/68 ,  H05B 3/20 326 B

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 面状発熱体
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-007345   出願人：松下電器産業株式会社
• センサ用セラミックヒータ及び酸素センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-168720   出願人：日本特殊陶業株式会社