特許
J-GLOBAL ID：200903026468619797

改良された環境型走査電子顕微鏡

発明者：
ノウルズ,ダブリュ.ラルフ

ノウルズ,ダブリュ.ラルフ について

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シュルツ,ウィリアム ジー.

シュルツ,ウィリアム ジー. について

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アームストロング,アレン イー.

アームストロング,アレン イー. について


出願人/特許権者：
エフ・イ-・アイ・カンパニー

エフ・イ-・アイ・カンパニー について


代理人 (1件)： 浅村 皓 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-006761
公開番号（公開出願番号）：特開2003-229083
出願日： 1994年07月25日
公開日（公表日）： 2003年08月15日
要約：
【要約】【課題】 慣用のSEMの解像度と同等の解像度を達成する環境型走査電子顕微鏡を提供することを目的とする。【解決手段】 バイアスを加えられたリング電極が試料からの2次電子を検出するほか、後方散乱電子に由来する信号を低減し、かつ電子ビームによって発生させられる信号雑音を低減するために、バイアスを加えられた圧力制限開口電子検出器も備えられる。光学窓装置が備えられ、使用者は従来の環境型SEM電子像(直径0.5mmが限界である)を約7〜10mmに至る視野を包含する標本の光学的可視光観察に容易に切り換えることができる。更に、この環境型SEMの構造は、慣用のSEMにおけるEDX検出器の取り出し角と同等なX線検出器(EDX検出器)の取り出し角を実現する。
請求項（抜粋）：
調査対象の試料から出る信号を収集するための収集電極手段を表面に有する検出器ヘッドを含むプリント回路板を含んでなる環境型走査電子顕微鏡用の電子検出器。
IPC (3件)：
H01J 37/244 ,  H01J 37/18 ,  H01J 37/28
FI (3件)：
H01J 37/244 ,  H01J 37/18 ,  H01J 37/28 B
Fターム (6件)：
5C033KK09 ,  5C033NN01 ,  5C033NP01 ,  5C033UU03 ,  5C033UU04 ,  5C033UU05
引用特許：
審査官引用 (5件)
  • 走査電子顕微鏡
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-061243   出願人：株式会社ニコン
  • 特開平4-179116
  • 特表昭4-504325
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