特許
J-GLOBAL ID：200903026620135229
ビューイングポート及びビューイングポート用補助透光体
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
保立 浩一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-156969
公開番号（公開出願番号）：特開平8-327919
出願日： 1995年05月30日
公開日（公表日）： 1996年12月13日
要約：
【要約】【目的】 ビューイングポートの部分における薄膜の剥離が抑制され、またビューイングポートの部分に対してもエッチングによるクリーニングが充分行えるようにする。【構成】 真空排気室の壁1の孔2に嵌め込められ、当該孔2を気密に塞ぎつつ所定の波長の光を透過せしめるビューイングポートであって、真空排気室内部側の表面30が真空排気室の壁1の内面10に対して同一曲面又は同一平面を形成するよう配置された透光体3を有する。ビューイングポートの部分において鋭利な角部が形成されなくなるので、薄膜が堆積したとしてもその薄膜の剥離が抑制される。
請求項（抜粋）：
真空排気ポンプによって真空排気される真空排気室の非透光性の壁に開けられた孔に設けられ、当該孔を気密に塞ぎつつ所定の波長の光を真空排気室内部と外部との間で一方から又は相互に透過せしめることが可能に設けられるビューイングポートにおいて、前記真空排気室の壁の孔に嵌め込められるとともに前記所定の波長の光を透過させる透光体を備え、この透光体は、その真空排気室内部側の表面が真空排気室の壁の内面に対して、同一曲面又は同一平面を形成する寸法形状を有することを特徴とするビューイングポート。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G02B 25/00 Z
, G02B 27/02 Z
審査官引用 (6件)
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特開平2-298261
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特開昭61-101780
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特開平4-080382
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