特許

J-GLOBAL ID：200903026649407015

感光性組成物及びパターン膜の製造方法

発明者： 中村 秀 ,  西村 貴史 ,  鹿毛 崇至 ,  国広 良隆 ,  渡邉 貴志 ,  日下 康成
出願人/特許権者： 積水化学工業株式会社
代理人 (2件)： 宮▲崎▼主税 ,  目次 誠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-227270
公開番号（公開出願番号）：特開2009-265595
出願日： 2008年09月04日
公開日（公表日）： 2009年11月12日
要約：

【課題】現像性に優れている感光性組成物、並びに該感光性組成物を用いたパターン膜の製造方法を提供する。【解決手段】シロキサンポリマーを少なくとも含むアルカリ可溶性ポリマー100重量部と、キノンジアジド化合物3〜100重量部とを含有し、シロキサンポリマーの重量平均分子量が500〜60000の範囲内にある感光性組成物、並びに該感光性組成物を基板2上に塗工し、基板2上に感光性組成物層1を形成した後、感光性組成物層1を部分的に露光することにより、露光部1aの感光性組成物層1を現像液に可溶にし、次に感光性組成物層1を現像液で現像することにより、露光部1aの感光性組成物層1を除去し、未露光部の感光性組成物1からなるパターン膜1Aを形成するパターン膜1Aの製造方法。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

シロキサンポリマーを少なくとも含むアルカリ可溶性ポリマー100重量部と、キノンジアジド化合物3〜100重量部とを含有し、 前記シロキサンポリマーの重量平均分子量が500〜60000の範囲内にあることを特徴とする、感光性組成物。

IPC (4件)：

G03F 7/075 ,  G03F 7/023 ,  G03F 7/40 ,  H01L 21/027

FI (4件)：

G03F7/075 521 ,  G03F7/023 ,  G03F7/40 501 ,  H01L21/30 502R

Fターム (18件)：

2H025AA04 ,  2H025AA10 ,  2H025AB16 ,  2H025AC01 ,  2H025AD03 ,  2H025BE01 ,  2H025CB13 ,  2H025CB14 ,  2H025CB33 ,  2H025CB43 ,  2H025CB55 ,  2H025FA17 ,  2H025FA29 ,  2H096AA25 ,  2H096BA10 ,  2H096EA02 ,  2H096GA09 ,  2H096HA01

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 感放射線性樹脂組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-039925   出願人：日本合成ゴム株式会社
• 感光性樹脂組成物およびこれを用いたパターン形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-296954   出願人：東レ株式会社