特許
J-GLOBAL ID：200903026664525130

マイクロアクチュエータとその製造方法

発明者：
鈴木 健一郎

鈴木 健一郎 について


出願人/特許権者：
日本電気株式会社

日本電気株式会社 について


代理人 (1件)： 畑 泰之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-142458
公開番号（公開出願番号）：特開平11-341833
出願日： 1998年05月25日
公開日（公表日）： 1999年12月10日
要約：
【要約】【課題】 アクチュエータの可動子が基板に付着して動かなくなる事故を防止したアクチュエータを提供する。【解決手段】 固定子電極3Bを含む固定子3と可動子電極4Bを含む可動子4とを備えた半導体材料からなるマイクロアクチュエータにおいて、前記可動子4及び固定子3を支持する半導体基板1が前記可動子4の下側において除去20され前記可動子4と半導体基板1とが分離していることを特徴とする。
請求項（抜粋）：
固定子電極を含む固定子と可動子電極を含む可動子とを備えた半導体材料からなるマイクロアクチュエータにおいて、前記可動子及び固定子を支持する半導体基板が前記可動子の下側において除去され前記可動子と半導体基板とが分離していることを特徴とするマイクロアクチュエータ。
引用特許：
審査官引用 (3件)

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