特許
J-GLOBAL ID：200903026674930148

バルク音響振動子の製造方法及びバルク音響振動子

発明者：
古畑 誠

古畑 誠 について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (2件)： 上柳 雅誉 ,  宮坂 一彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-014669
公開番号（公開出願番号）：特開2008-182512
出願日： 2007年01月25日
公開日（公表日）： 2008年08月07日
要約：
【課題】温度補償膜の形成位置とその影響を勘案することで、温度補償膜による温度補償の精度を高めることができ、従来よりも安定した周波数特性を得ることのできるバルク音響振動子を実現する。【解決手段】本発明のバルク音響振動子の製造方法は、圧電体膜12、該圧電体膜を挟む一対の電極11,13、及び、温度補償膜14A,14Bを含む積層構造10Xを具備するバルク音響振動子の製造方法において、前記圧電体膜、前記一対の電極、及び、前記一対の電極間に配置される第1の前記温度補償膜14Aを含む積層部分10Yを形成する第1積層工程と、前記一対の電極の外側に配置される第2の前記温度補償膜14Bを形成する第3の工程と、を具備することを特徴とする。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
圧電体膜、該圧電体膜を挟む一対の電極、及び、温度補償膜を含む積層構造を具備するバルク音響振動子の製造方法において、 前記圧電体膜、前記一対の電極、及び、前記一対の電極間に配置される第1の前記温度補償膜を含む積層部分を形成する第1積層工程と、 前記一対の電極の外側に配置される第2の前記温度補償膜を形成する第2積層工程と、 を具備することを特徴とするバルク音響振動子の製造方法。
IPC (2件)：
H03H 3/04 ,  H03H 9/17
FI (2件)：
H03H3/04 Z ,  H03H9/17 F
Fターム (5件)：
5J108AA04 ,  5J108BB07 ,  5J108BB08 ,  5J108CC11 ,  5J108HH01
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (4件)
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