特許
J-GLOBAL ID:200903026829897703

ガラス基板切断方法及びその装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 杉村 次郎
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-042506
公開番号(公開出願番号):特開2000-239034
出願日: 1999年02月22日
公開日(公表日): 2000年09月05日
要約:
【要約】【課題】 ガラス基板を短時間で切断する。【解決手段】 スクライバ28及び圧電素子26を有するブロック25は、板バネ24を介して可動ガイド部材23に取り付けられている。そして、圧電素子26を駆動させ、また第2のシリンダ33の駆動により可動ガイド部材23等を介してスクライバ28に対して下方向の圧力を加える。すると、下方向に圧力を加えられたスクライバ28によってガラス基板36の上面にけがき線を形成することができると共に、スクライバ28の上下方向への振動により発生する衝撃によってガラス基板36をけがき線に沿って切断することができ、すなわち、ガラス基板36の上面にけがき線を形成するのとほとんど同時にガラス基板36をけがき線に沿って切断することができる。
請求項(抜粋):
スクライバを上下方向に振動させ、且つ、該スクライバに下方向への圧力を加えることにより、前記スクライバによってガラス基板の上面にけがき線を形成すると共に前記ガラス基板を前記けがき線に沿って切断することを特徴とするガラス基板切断方法。
IPC (4件):
C03B 33/033 ,  B28D 5/00 ,  C03B 33/03 ,  G02F 1/1333 500
FI (4件):
C03B 33/033 ,  B28D 5/00 Z ,  C03B 33/03 ,  G02F 1/1333 500
Fターム (15件):
2H090JB02 ,  2H090JC01 ,  2H090JC13 ,  3C069AA03 ,  3C069AA05 ,  3C069BA03 ,  3C069BA10 ,  3C069BB04 ,  3C069CA11 ,  3C069EA01 ,  4G015FA03 ,  4G015FA04 ,  4G015FB02 ,  4G015FC07 ,  4G015FC11
引用特許:
出願人引用 (3件) 審査官引用 (3件)

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