特許
J-GLOBAL ID：200903026852401065
容量型慣性力検出装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
河宮 治
, 竹内 三喜夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-059391
公開番号（公開出願番号）：特開2004-361388
出願日： 2004年03月03日
公開日（公表日）： 2004年12月24日
要約：
【課題】 容量型慣性力検出装置の感度とSN比を向上させること【解決手段】 センサ素子の変位部を、基板に固定された一対の梁により宙支され慣性力の方向に変位可能な可動質量体で構成する。変位部の変位を検出する検出部を1対以上とし、かつ変位部との間のギャップを変更可能に検出部を基板上に配設する。検出部は駆動部と、可動質量体と対向する一対の検出電極を有している。駆動部により、検出電極と可動質量体との間のギャップを変更することができるので、検出装置の感度を広い範囲で変化させることができる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
慣性力により生じたセンサ素子の容量変化を検出する容量型慣性力検出装置であって、
上記センサ素子が、基板と、該基板との間に空隙部を設けて接合されたシリコン構造体と、から成り、
該シリコン構造体は、変位部と該変位部の変位量を検出する1対以上の検出部とを備え、
上記変位部が、慣性力の方向に変位可能な可動質量体と、該可動質量体に連接され可動質量体を上記空隙部の上に宙支する一対の梁と、該梁を支持し上記基板に接合された一対のアンカーと、を有する一方、
上記の一対の検出部は上記変位部と対向する一対の検出電極を有し、該検出電極が上記変位部との間のギャップを変更可能に上記基板上に配設されて成る容量型慣性力検出装置。
IPC (1件)：
FI (2件)：
G01P15/125 Z
, G01P15/125 V
