慣性力センサおよびその製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高田守
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-160171
公開番号（公開出願番号）：特開平8-032090
出願日： 1994年07月12日
公開日（公表日）： 1996年02月02日
要約：

【要約】【目的】耐衝撃性に優れ、低価格、高感度、高信頼性の慣性力センサを得ること。【構成】質量体と梁とアンカーとが一体形成されたものからなる振動体と、2つの固定電極とを備えた構造体を同一ウエハから作り、2つの固定電極は質量体と梁とを挟み込み、かつ質量体と梁とは基板に対し空隙を有して位置し、かつアンカーと2つの固定電極とを基板に接合することにより、慣性力による質量体の変位を電気的に検出できるようにした。

請求項（抜粋）：

基板と、該基板に接合し、かつ(110)面を有する単結晶シリコンからなるウエハを(111)面方向に沿ってエッチングすることにより作られた構造体とを備え、該構造体は、前記基板に対し空隙を有して位置する質量体と、該質量体を支持し、かつ前記基板に対し空隙を有して位置する梁と、該梁を支持し、かつ前記基板に接合するアンカーとを備えた振動体、および前記質量体の側面に位置する固定電極を備え、前記質量体を可動電極とし、該可動電極の変位を電気的に検出することを特徴とする慣性力センサ。

IPC (2件)：

H01L 29/84 , G01P 15/125

引用特許：

審査官引用 (9件)

特開昭62-174978
特表平5-503994
半導体加速度センサの製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-147075 出願人：日産自動車株式会社

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