薄膜圧電素子の製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：曾我道照 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-059898
公開番号（公開出願番号）：特開平11-261357
出願日： 1998年03月11日
公開日（公表日）： 1999年09月24日
要約：

【要約】【課題】基板上に圧電薄膜を形成した構造に依存して生じる不要な弾性波のモードにより、不要なスプリアスが発生し、薄膜圧電素子としての性能が劣化するという課題があった。【解決手段】基板1上に形成された圧電薄膜3と、前記圧電薄膜の一面に形成されすだれ状の形状であって正負電極を有する上部電極4と、前記圧電薄膜の他面に形成された下部電極10とを備えた薄膜圧電素子において、前記上部電極の正電極と負電極とが同電位になるように、前記上部電極4と前記下部電極10との間に所定の直流電圧を印加すると同時に所定の温度に加熱する第1の工程と、前記正電極と前記負電極との間に所定の直流電圧を印加すると同時に所定の温度に加熱する第2の工程とを含む。【効果】不要なスプリアス成分を低減し、良好な特性を得ることができる。

請求項（抜粋）：

基板上に形成された圧電薄膜と、前記圧電薄膜の一面に形成され交差型の形状であって正負電極を有する上部電極と、前記圧電薄膜の他面に形成された下部電極とを備えた薄膜圧電素子において、前記上部電極の正電極と負電極とが同電位になるように、前記上部電極と前記下部電極との間に所定の直流電圧を印加すると同時に所定の温度に加熱する第1の工程と、前記正電極と前記負電極との間に所定の直流電圧を印加すると同時に所定の温度に加熱する第2の工程とを含むことを特徴とする薄膜圧電素子の製造方法。

IPC (3件)：

H03H 3/02 , H01L 41/09 , H01L 41/22

FI (3件)：

H03H 3/02 , H01L 41/08 C , H01L 41/22 Z

引用特許：

審査官引用 (6件)

特開平3-096005
圧電体の分極方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-041339 出願人：株式会社村田製作所
圧電体の分極方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-323113 出願人：株式会社村田製作所

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