固体撮像装置およびその製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：滝本智之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-107618
公開番号（公開出願番号）：特開平11-307748
出願日： 1998年04月17日
公開日（公表日）： 1999年11月05日
要約：

【要約】【課題】カメラ一体型ビデオ等に搭載される固体撮像装置において、斜め方向から入射した光の一部が光電変換素子に入射せず、光利用効率の低下を招き、また迷光となって他の光電変換素子へ入射し、固体撮像装置の解像度を低下させるという課題を解決し、光の入射角度に影響されず、均一で高い集光率を得ることができる固体撮像装置を提供する。【解決手段】シリコン基板11の表面に設けられた光電変換素子12の上面に第1の平坦化膜16と、カラーフィルタ層17と、第2の平坦化膜18と、凸状レンズまたはレンチキュラレンズのマイクロレンズ19とが順次形成されており、その光学ブロック21の周囲に溝20が設けられている。

請求項（抜粋）：

半導体基板主面にマトリックス状に複数の光電変換素子が配置され、前記半導体基板上に前記光電変換素子に対応して樹脂膜を介して集光手段が形成された固体撮像装置であって、前記集光手段の少なくとも対向する2辺の列の隣接領域内に溝が形成されていることを特徴とする固体撮像装置。

IPC (2件)：

H01L 27/14 , H04N 5/335

FI (2件)：

H01L 27/14 D , H04N 5/335 V

引用特許：

審査官引用 (11件)

固体撮像素子及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-011782 出願人：シャープ株式会社
固体撮像装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-310267 出願人：松下電子工業株式会社
固体撮像装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-203303 出願人：松下電子工業株式会社

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