特許

J-GLOBAL ID：200903026910090300

フィルム厚の測定方法及び装置

発明者： ウエイン・ヴィー・ソリン ,  ブライアン・エル・ヘフナー ,  シャリーニ・ヴェンカテシュ
出願人/特許権者： ヒューレット・パッカード・カンパニー
代理人 (1件)： 上野 英夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-224836
公開番号（公開出願番号）：特開平9-119815
出願日： 1996年08月27日
公開日（公表日）： 1997年05月06日
要約：

【要約】【課題】フィルムの厚さを高精度で高速測定する。【解決手段】 中心周波数を有し該中心周波数の0.1%を超える関数スペクトル幅を有する光信号を低コヒーレンス光源(12)からフィルム(13)に送り、反射光を集めて結合手段(15)により干渉計(18)に結合して、干渉光信号を発生する。低密度でサンプリングした前記干渉光信号のフーリエ変換の位相勾配を周波数の関数として求め、その結果からフィルム(13)の厚さを測定する。

請求項（抜粋）：

中心周波数を有し該中心周波数の0.1%を超える関数スペクトル幅を有する光信号を発生するための低コヒーレンス光源と、前記光信号をフィルムに送り、前記フィルムから反射する光を集めて、集光信号を発生するための結合手段と、前記集光信号を干渉計に結合して、干渉光信号を発生するための手段と、前記干渉光信号のフーリエ変換の位相勾配を周波数の関数として求めるための処理手段とを備えた、フィルムの厚さを測定するための測定装置。

IPC (2件)：

G01B 11/06 ,  G01N 21/45

FI (2件)：

G01B 11/06 G ,  G01N 21/45 A

引用特許：

審査官引用 (5件)

• 透明な試料層の厚さを干渉測定する装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-066805   出願人：カール-ツアイス-スチフツング
• 特公平7-026802
  
• 測長または測角装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-221407   出願人：ドクトル・ヨハネス・ハイデンハイン・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング
• 特公昭62-050768
  
• 特公平3-015686