特許
J-GLOBAL ID:200903026944698340
カーボンナノチューブの製造方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件):
伊藤 洋二
, 三浦 高広
, 水野 史博
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-357706
公開番号(公開出願番号):特開2007-161512
出願日: 2005年12月12日
公開日(公表日): 2007年06月28日
要約:
【課題】カーボンナノチューブを気相合成により原料ガスの流れに沿った方向へ成長させる製造方法において、カーボンナノチューブの合成温度をより低くできるようにする。【解決手段】原料ガスが透過する基材を、触媒200を担持したメッシュ状の第1の電極12により構成し、この第1の電極12よりも原料ガスの流れ上流側に第2の電極15を設け、高周波電源16を介してこれら両電極間12、15に原料ガスによるプラズマを発生させ、第1の電極12における原料ガスの流れ下流側からカーボンナノチューブ100を原料ガスの流れに沿った方向へ成長させる。【選択図】図2
請求項(抜粋):
炭素原子を含む原料ガスが透過可能であって触媒が担持された基材(12、50)に対し、前記基材(12、50)の一面(13)から他面(14、51a)側へ透過するように前記原料ガスを供給し、前記基材(12、50)における前記原料ガスの下流側となる前記他面(14、51a)側にて、カーボンナノチューブ(100)を気相合成により前記原料ガスの流れに沿った方向へ成長させるカーボンナノチューブの製造方法において、
前記基材(12、50)を、前記原料ガスが透過可能な第1の電極(12)を有するものとし、前記第1の電極(12)よりも前記原料ガスの流れ上流側に第2の電極(15)を設け、これら両電極間に前記原料ガスによるプラズマを発生させることにより、
前記第1の電極(12)における前記原料ガスの流れ下流側から前記カーボンナノチューブ(100)を前記原料ガスの流れに沿った方向へ成長させることを特徴とするカーボンナノチューブの製造方法。
IPC (2件):
FI (2件):
C01B31/02 101F
, B82B3/00
Fターム (12件):
4G146AA11
, 4G146AB06
, 4G146AD20
, 4G146AD22
, 4G146AD28
, 4G146BA12
, 4G146BA48
, 4G146BC09
, 4G146BC42
, 4G146DA03
, 4G146DA07
, 4G146DA16
引用特許:
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