特許
J-GLOBAL ID：200903026996664885
粘着シート
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大谷 保
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-095378
公開番号（公開出願番号）：特開2005-281420
出願日： 2004年03月29日
公開日（公表日）： 2005年10月13日
要約：
【課題】ウエハのダイシング時に十分な粘着力でチップを保持してチップ飛散を防止し、ウエハ(チップ)の振動を抑制してチッピングを防止できる粘着シートを提供することを目的としている。また、ダイシング用粘着シートとしてウエハ裏面(研削面)に直接貼着される場合であっても、接着剤のような樹脂膜を介して貼着される場合であっても、エネルギー線照射で粘着力を低減させた後でのピックアップが確実に行われ、かつピックアップによるチップへのダメージを極小にすることのできる粘着シートを提供すること。【解決手段】基材フィルム上に、粘着性のアクリル系共重合ポリマー〔成分(A)〕、酢酸ビニルモノマーから導かれる構成単位を50〜99.99質量%含有する酢酸ビニル共重合ポリマー〔成分(B)〕及びエネルギー線硬化性のモノマー又はオリゴマー〔成分(C)〕を主成分とする粘着剤組成物を用いて形成された粘着剤層を有する粘着シートとする。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
基材フィルムとその上に形成された粘着剤層からなる粘着シートであって、該粘着剤層が、粘着性のアクリル系共重合ポリマー〔成分(A)〕、酢酸ビニルモノマーから導かれる構成単位を50〜99.99質量%含有する酢酸ビニル共重合ポリマー〔成分(B)〕及びエネルギー線硬化性のモノマー又はオリゴマー〔成分(C)〕を主成分とする粘着剤組成物により形成されてなることを特徴とする粘着シート。
IPC (5件)：
C09J7/02
, C09J4/00
, C09J131/04
, C09J133/00
, H01L21/301
C09J7/02 Z
, C09J4/00
, C09J131/04
, C09J133/00
, H01L21/78 M
4J004AA01
, 4J004AA09
, 4J004AA10
, 4J004AB01
, 4J004AB06
, 4J004CC02
, 4J004FA05
, 4J004FA08
, 4J040DE021
, 4J040DE022
, 4J040DF041
, 4J040DF042
, 4J040DF051
, 4J040DF052
, 4J040FA141
, 4J040FA142
, 4J040JB07
, 4J040JB09
, 4J040LA06
, 4J040PA23
, 4J040PA32
