特許

J-GLOBAL ID：200903027059582802

光導波路の光路長調整方法および光路長調整を施した光導波回路部品

発明者： 橋詰 泰彰 ,  井上 靖之 ,  柴田 知尋 ,  笠原 亮一 ,  井藤 幹隆 ,  郷 隆司
出願人/特許権者： 日本電信電話株式会社
代理人 (3件)： 光石 俊郎 ,  光石 忠敬 ,  田中 康幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-267635
公開番号（公開出願番号）：特開2004-102195
出願日： 2002年09月13日
公開日（公表日）： 2004年04月02日
要約：

【課題】生産性の良い光路長調整技術の提供。【解決手段】フォトリソグラフィ技術を用いて光導波路201を基板上にパターン化する際、フォトリソグラフィに用いるフォトマスクのコア用回路パターンを過去に作製した光導波路の特性を元にトリミングし、このトリミングしたフォトマスクを用いて光導波路201にコアが消失した部分203を形成することで、光路長を調整する。【選択図】 図2

請求項（抜粋）：

フォトリソグラフィ技術を用いて基板上にコアをパターン化する光導波路の製造方法において、フォトリソグラフィを行う際に用いるフォトマスクのコア用回路パターンを過去に作製した光導波路の特性を元にトリミングして、光導波路の光路長を調整することを特徴とする光導波路の光路長調整方法。

IPC (4件)：

G02B6/13 ,  G02B6/12 ,  G02F1/01 ,  G02F1/313

FI (4件)：

G02B6/12 M ,  G02F1/01 C ,  G02F1/313 ,  G02B6/12 F

Fターム (20件)：

2H047KA02 ,  2H047KB04 ,  2H047PA21 ,  2H047QA02 ,  2H047QA04 ,  2H047TA01 ,  2H079AA06 ,  2H079AA12 ,  2H079BA01 ,  2H079CA05 ,  2H079DA17 ,  2H079EA05 ,  2H079EB27 ,  2H079JA05 ,  2K002AA02 ,  2K002AB04 ,  2K002BA13 ,  2K002CA02 ,  2K002DA08 ,  2K002HA11

引用特許：

審査官引用 (6件)

• 特開平4-255806
  
• 光マルチチャネルセレクタ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-115317   出願人：日本電信電話株式会社
• 導波型光分岐素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-093184   出願人：日本電信電話株式会社
• 光導波回路装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-192079   出願人：日本電信電話株式会社
• 光導波路形フィルタの製造方法および光導波路形フィルタ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-115592   出願人：日本電信電話株式会社
• 特開平4-255806